美国 KRI 霍尔离子源 eH 3000 产品资料发布日期:2021-03-04

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 3000 最适合大型真空系统, 与友厂大功率离子源对比, eH 3000 是目前市场上最高效, 提供最高离子束流的无栅网离子源.

尺寸: 直径= 9.7“ 高= 6“

放电电压 / 电流: 50-300V / 20A

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

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