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CTI On-board 低温泵
产品描述
CTI-Cryogencis On-Board 低温真空泵加速集成和改进的系统操作在可靠性和性能方面已达到世界标准.
On-Board 低温泵配有完整的集成控制和外围附件支持, 提供了更长的运行时间, 以提高工具的整体生产效率, 从而增加了整体设备的产能和持续性能.
CTI-Cryogencis On-Board 低温泵主要特性:
1. 快速 Regen™ 功能, 可在再生间隔期间延长低温泵的性能
2. 嵌入式微处理器控制系统可增强性能、执行诊断程序并提供通信功能
3. 先进的软件和易用的图形用户界面, 使得操作简单容易
4. 通过您的低温泵网络实现多台泵的同时再生功能, 可使整个系统的再生加速
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CTI On-board 低温泵 技术参数：
CTI On-board 低温泵技术参数:
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On-Board 低温泵型号
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4F
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8
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8F
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10
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10F
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250F
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400
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500
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抽速 (L/S)
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水汽
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1,100
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4,000
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4,000
|
9,000
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9,500
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6,500
|
17,500
|
30,000
|
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空气
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370
|
1,500
|
1,500
|
3,000
|
|
2,200
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6,000
|
10,000
|
|
氢
|
370
|
2,500
|
2,200
|
5,000
|
|
3,200
|
12,000
|
12,000
|
|
氩
|
310
|
1,200
|
1,200
|
2,500
|
|
1,800
|
5,000
|
8,400
|
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容量（标准升）
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氩
|
210
|
1,000
|
1,000
|
2,000
|
|
1,000
|
2,500
|
6,000
|
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氢 (5x10-6 Torr)
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3
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17
|
12
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24
|
24
|
16
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42
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45
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常规再生时间（冷态至冷态）
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第一级和第二级
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75 分钟
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2.5 小时
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2.5 小时
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2.5 小时
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2.5 小时
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<3.3 小时
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3 小时
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<3.8 小时
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第二级
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<1 小时
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<1 小时
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<1 小时
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<1 小时
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<1 小时
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<1.5 小时
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<1.5 小时
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