干式真空泵 A4X 系列

干式真空泵 A4X 系列
干式真空泵 A4X 系列

产品描述

上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业, 干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求, 特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高, 有效降低了企业成本.

产品优势
技术参数
尺寸及抽速
应用领域

干式真空泵 A4X 系列产品优势：

干式真空泵 A4X 系列核心优势：
1.耐腐蚀设计，使用寿命长
2.通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
3.特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
4.配置氮气吹扫阀，耐粉尘

干式真空泵 A4X 系列技术参数：

干式真空泵 A4X 系列技术参数：

型号	A 124 H	A 604 H	A 1204 H	A 204 H A 204 X	A 804 H A 804 X	A 1504 H A 1504 X	A 1804 H A 1804 X
抽速 m3/h	110	560	1150	160	700	1200	1700
极限真空 (氮气吹扫阀关闭) hPa	2X10^-2	2X10^-4	9X10^-4	5X10^-2	2X10^-3	2X10^-3	2X10^-3
极限真空 (氮气吹扫阀50 SLM) hPa	5X10^-2	6X10^-3	6X10^-3	2X10^-1	9X10^-3	9X10^-3	9X10^-3
全转速最大进气气流 SLM	80	60	55	150	100	100	70
最大功率 KW	1.5	1.9	2.3	1.8	2.2	2.6	2.6
最大排气压力hPa	1200	1200	1200	1200	1200	1200	1200
进气口 ISO-KF	DN 50	DN 100	DN 160	DN 50	DN 100	DN 160	DN 160
重量 kg	250	370	530	260	380	540	540

干式真空泵 A4X 系列尺寸及抽速：

干式真空泵 A4X 系列抽速：
干式真空泵 A4X 系列应用领域：

干式真空泵 A4X 系列应用:
半导体: （蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行业: 光伏和 LED

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