CTI On-Board® IS 320FX 低温泵
On-Board® IS 320FX 低温泵, 专为应对当今离子注入工艺的挑战而开发, 可提高氢气抽取速度和容量, 同时还能保持所有您对 On-Board® IS 320FE 低温泵所期望的质量、性能和可靠性优势.
1. 专为离子注入应用而设计
2. 针对工具处理能力进行了优化
3. 智能的 "自我调节" 技术
4. 更低的拥有成本
5. 增加正常运行时间
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