CTI On-Board® IS XP 低温泵

CTI On-Board® IS XP Cryopump

产品描述

CTI On-Board® IS XP 低温泵可为 PVD 应用提供更大的容量, 从而在保持制程透明度的同时实现最高的生产率. 同时, 它具有成熟的能效、稳定的性能和较低的拥有成本.  

 

CTI On-Board® IS XP 低温泵优势:

1. 提供容量余量以用于将来的制程改进

2. 更低的拥有成本

3. 增加的正常运行时间

4. 智能的“自我调节”技术以实现稳定的真空性能

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