-
ADLER-1000P
-
ALDER-800P
-
ALDER-800P
产品描述
上海伯东代理OPTPRUN 光驰原子层沉积装置:
ALDER-800P 是一种等离子 ALD 系统，可在塑料基板上进行光学多层沉积。
ALDER-800TBS (A800TBS) 是一种热模式 ALD 系统，具有大容量负载锁定机制，可实现高通量、高均匀性和出色的重现性。
ALDER-1000 实现了传统薄膜沉积方法无法实现的光学特性。可以形成3D胶片，相机镜头上的AR胶片可以创造出没有重影和眩光的清晰图像。
-
原子层沉积装置 产品优势：
ALDER-800P：
1. 在整个镜片圆周和 3D 结构上进行保形沉积
2. 可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上进行薄膜沉积。
3. 工作盘成膜量大 Φ100×75片
4. 等离子工艺可实现低温沉积
5. 通过优化原材料供应和等离子体照射缩短沉积时间
ALDER-800TBS：
1. 专为 LED 等高通量 ALD 应用而设计
2. 以良好的再现性实现高度均匀的沉积工艺
3. 6秒以下的快速 ALD 循环
4. 维护周期长
ADLER-1000P：
1. 可见光范围内小于0.1%的超低反射镀膜
2. 在具有陡峭三维结构的表面上进行保形沉积
3. 大曲率透镜两侧的广入射角增透膜
4. 低温等离子在塑料镜片上成膜
5. 通过同时沉积 40 个 φ350 晶圆实现高生产率
6. 实现逼真清晰的图像，没有重影和眩光
-
原子层沉积装置 产品性能：
| 极限压力 |
真空室：小于7Pa
|
| 排气时间 |
真空室：30分钟（大气压至10Pa）
|
| 沉积温度 |
真空室：30分钟（大气压至10Pa）
|
