在薄膜沉积、刻蚀等高精密工艺中，真空测量数据的准确性是保障良率与工艺稳定的生命线。然而，CVD、PVD等制程中产生的污染，正悄然侵蚀着传统真空计（如离子规、电容规）的测量核心，导致其性能不可逆地漂移、失效，成为生产中难以察觉的“隐性成本黑洞”。
面对这一行业痛点，德国PH Instruments推出的SRG转子真空计带来了革命性的解决方案。其核心摒弃了脆弱的灯丝与膜片，采用独特的全金属悬浮球传感器，不仅从原理上极大降低了对污染的敏感性，更实现了传感器球的客户可自主快速更换，将真空计从“定期报废的耗材”转变为“可持续维护的资产”。
本文将深入剖析工艺污染对真空测量的真实影响，揭示PHI SRG真空计如何凭借±1%读数精度、<1.5%的年漂移率以及分钟级现场维护能力，彻底解决污染导致的测量失准与高维护成本难题，助力企业实现工艺数据的长期可信与生产效益的持续提升。
2025-12-19
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普发真空提供各种具有数字或模拟信号输出的测量设备系列。ActiveLine 的模拟真空计现已通过一 PBR 260 后继型号达到最新的技术标准。名为 PBR 360 的新型测量计涵盖了从 5 x 10-10 到 1,000 hPa 的范围，并且具有测量精度高的特点。
2023-04-28
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2023-02-23
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2023-02-21
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过程控制质谱仪 Aston™ 专为半导体生产而设计, 实现工艺过程控制, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供前所未有的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
2022-04-07
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上海伯东德国 Pfeiffer 即将推出新款全系列涡轮分子泵 HiPace 80 Neo, 此款复合轴承分子泵体积小巧, 智能设计, 坚固耐用,提供强大抽气能力, 满足市场需要. HiPace 80 Neo 转子使用德国 Pfeiffer Balancing™ 激光平衡技术, 是目前市场上同级别振动最低和噪音最小的分子泵！
2021-08-04
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最新一代的 Edwards 干泵（例如 nXR60 和 90i）使用不接触的精密加工转子，因此不需要任何润滑油。这在维护干预方面节省了时间和金钱，但也节省了生产停工以及废润滑油回收、回收和管理的相关间接成本。
2022-10-31
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上海伯东代理美国 Gel-Pak 公司最新研发的 LF, SF 和 ALF 承载膜 (胶膜) 适用于各类应用, 比如在研磨和抛光过程中, 固定硬盘磁碟的磁条, 半导体晶体以及其他需要固定的材料
2022-07-20
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上海伯东代理美国 inTEST 热流仪 ATS 7XX 系列, 操做系统由 Windows OS, 全部升级为 inTEST 自主研发的 New ThermoStream® OCM 系统, 兼容 Ethernet, IEEE-488, RS232, 全新人机控制界面, 不在受制于因 Windows 软件而引发的系统过时问题.
2022-06-08
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基于对自然界中如壁虎等蜥蜴类动物的仿生学研究, , 上海伯东美国 Gel-Pak 公司研发了一种独特的微纹理结构, 这种微纹理材料适用于各种尺寸的器件, 可以用于工厂内部流转以及运输裸芯或者封装后的器件!
2022-04-08
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