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PFEIFFER ADIXEN ADH系列干泵
产品描述
上海伯东PFEIFFER ADH 系列最大的优势之一是其高氢气抽速，在工艺步骤之间拥有更快排空腔室的能力。结合大流量的设计，这使得 ADH 泵适用于最苛刻的工艺规范。得益于优化的设计，该系列泵在同级泵送性能水平中可提供市场上最佳的功耗。
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干式真空泵 ADH系列 产品优势：
一. 对工艺副产物的高耐受性
该系列泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫，以防止粉尘积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉尘，保证良好的重启能力。ADH 系列采用全新的监控系统进行升级，其功能有助于提高工艺可靠性。
二. 坚固、安全
ADH 系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行易爆性气体（如氢气和硅烷）的应用时具有最高水平的安全性。
三. 无中期维护成本
所有轴承均经过了油润滑，不需要现场维护。经过改善的粉尘耐受性、冷凝管理以及待机模式有助于降低运营成本。
PFEIFFER AD4560H干泵产品优势：
AD4560H绝佳的抗腐蚀性及抗副产物能力
更大的工作温度范围及控制能力
待机模式下氮气、电力消耗可节约50%以上
兼具防爆能力
抽速范围可达600~4500 m3/h
绝佳的氢气压缩比
PFEIFFER ADIXEN AD4560H干泵客户受益：
可以调整抽气速率，为更广泛的应用提供支持
提高泵停机后的复机率
适用于太阳能、LED、LCD等大腔体及高流量的应用
对于严苛制程耐受能力强
更有效地应用于各类严苛制程
更低的运行成本
最佳的安全保障
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干式真空泵 ADH系列 技术参数：
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干式真空泵 ADH系列 AD600H干泵尺寸：
