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分支机构
KRI 射频离子源 Gridded RFICP
KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC
KRI 霍尔型离子源 Gridless
KRI 离子源中和器
HVA 真空矩形阀
HVA 真空闸阀, 真空插板阀
HVA 球阀
Nor-Cal 真空钟摆阀
Nor-Cal 线性真空闸阀
Nor-Cal 真空球阀
Nor-Cal 真空手动蝶阀
Nor-Cal 提升阀
Gel-Pak 芯片包装盒
Gel-Pak 真空释放托盘及工具
Gel-Pak 胶膜
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CTI On-board 水泵
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CTI-Cryogenics Cryo-Torr 低温泵
CTI On-board IS 低温泵
Temptronic ThermoStream 高低温测试机
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SigmaSystems 高低温试验箱
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Thermonics 超低温冷水机
Thermonics 超低温气体制冷机
Thermonics 超低温液氮制冷机
Ambrell EASYHEAT 高频感应加热
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NanoMagnetics 低温扫描探针显微镜 LT-SPM
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Products
KRI Ion source
Chip packaging box
HVA Vacuum Valve
Pfeiffer Vacuum Pumps
Leak Detector
Gas Analyzer
均匀性 : ±5% , 硅片刻蚀率 : 20 nm/min
保护裸模在内的易碎设备
高密度离子束, 工艺时间更长
业界公认最小漏率5E-13 Pa m3/s
清洁和高密封性
专为离子注入应用而设计开发
占地面积小, 任意位置安装.
1 ms/amu 响应时间, 检测限低 < 100 ppb
提供高能量离子束, 工艺时间更长
离子能量范围 100 至 1200ev
低电流高能量宽束型离子源
离子电流可以超过 800 mA
目前市场上最高效, 提供最高离子束流
即插即用备用阳极
高效等离子转换, 稳定的功率控制
宽波束, 高放电电流
提高吞吐量和覆盖沉积区
最大限度减少粒子的生成
高抽吸能力和极高压缩比
带有多样化的接口 -Profibus,DeviceNet 或者 E74。
分子泵通过保护等级IP54认证。高抽速和气体吞吐量。
抽速可达 1450 l/s 的高性能涡轮分子泵
抽速可达 1250 l/s 的高性能涡轮分子泵
抽速 260 l/s,对氮气压缩比 >e+13
低能耗、低振动、低噪音,免维护设计
强大的抽空能力, 极短的测试时间
快速检漏测试, 污染情况下易于恢复
占用空间小,前级泵清洁无油,极轻的重量(21kg)和全球通用电压使它成为理想的检漏工具。
极快达到真空度, 极短的测试时间
适合严苛工业环境, 使用寿命更长
适合大规模批量化检漏
用于镀膜工艺定性和定量气体分析
可与热重或吸附仪联用, 适合各种气体分析
操作组装灵活, 适用各种压力范围
最低可检测分压 3 X10-15 hPa
测量速度最高达 125μs / amu
最低的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
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