HVA 真空闸阀 真空插板阀 71000 系列

HVA 71000

产品描述

上海伯东美国 HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列是专为最苛刻的真空环境而设计. 真空闸阀 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 条件下加工成形, 真空闸阀两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, 最大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用.

上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。

  • 产品优势
  • 技术参数
  • 构成部件
  • 应用案例
  • HVA 真空闸阀 真空插板阀 71000 系列 产品优势:

    1.易于系统集成, 几乎满足所有应用

    2.不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护

    3.真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子

    4.使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数

    5.高压和机械加工的不锈钢阀体

    6.真空闸阀口径 DN 50-200 mm

    7.手动或气动控制

    8.标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制

    9真空闸阀最大烘烤温度 250°C

    10.全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口

  • HVA 真空闸阀 真空插板阀 71000 系列 技术参数:

     阀门材质:

     - 阀门主体

     304 不锈钢

     - 焊接波纹管轴封

     AM - 350

     阀门密封方式

     - 高真空

     氟橡胶

     真空:

     - 压力范围

     高真空 1x10-9 mbar

     - 漏率

     < 2x10-9  mbar l/S

     - 差压关闭

     2 bar (任意位置)

     - 开启前最大压力

     ≤ 1 bar

     烘烤温度(不含电磁阀):

     - 佛橡胶密封

     150 °c, 可选配置最大 250 °c

     - 驱动方式

     手动 60 °c, 气动 60 °c

     - 气体

     80 psig (5.5 bar)

     - 电磁

     4.0 Watts

     - 供电

     120 VAC 50 /60 Hz

     - 可选电压

     24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
     或 12, 24 VDC

     - 位置指示器,最大

     115 VAC
     或 28 VDC, 20 mA

     使用寿命> 250,000  启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

     公称通径DN 50 - 200 mm

  • HVA 真空闸阀 真空插板阀 71000 系列 构成部件:

    HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列部件图

     

    HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列部件图

    HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列部件图

  • HVA 真空闸阀 真空插板阀 71000 系列 应用案例:

    HVA 真空阀门的应用案例:

     

    1. 上海伯东美国 HVA 真空阀门在真空退火炉中的应用

     

    点击查看更多 HVA 真空阀门应用案例 》》》

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