Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus

Mass spectrometer PrismaPlus

产品描述

上海伯东代理德国 Pfeiffer 残余气体质谱仪 QMG系列, 模块化设计, 质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu. 内置四极分析仪、四极电子装置、电源件和Quadera 软件. 残余气体质谱 QMG系列离子源配备两组灯丝, 适用于多种测量用途, 使用寿命长.

  • 产品优势
  • 技术参数
  • 尺寸及抽速
  • 应用领域
  • Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus 产品优势:

    1. 模组化设计提供了产品最好的适应性

    2. 结构紧凑, 性能出众

     

    PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪. 该四极质谱仪积累了丰富的应用经验, 高灵敏度, 高稳定性和智慧化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点. 在适用中客户将感受到它坚固, 紧凑的设计和简单的系统集成, 并从中受益.


    3. 多种介面, 系统集成简单
    4. 可通过乙太网网路化
    5. 测试过程快速稳定, 解析度高

     

    PrismaPlusTM 四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围(1-100, 1-200, 1-300 amu)内, 下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果. 在真空系统中, 配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪, 即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来. 除显示可选择的分压外, 直接增加一个压力量规, PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用.


    6. 分析器以及电子的可替换性

    7. 双灯丝设计保证最大的可靠性
    8. 最低的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
    9. 配置Quadera®软体, 操作直观

     

    Quadera 软体不仅操作简单, 它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台. 结合多种可供选择的介面介面, 例如乙太网, 数位式和类比式输入输出, 可以方便地集成到各种系统中去. 轻点滑鼠就可以启动预设的功能.

     

    10.应用范围广

    通过可选择质量数范围, 检测器、离子源和介面介面等, 该四极质谱仪可以应用于多个领域, 例如:工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等. PrismaPlusTM 四极质谱仪是从品质保证, 残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的最佳方案.

  • Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus 技术参数:

    型号

    QMG 220 F1

    QMG 220 F2

    QMG 220 F3

    QMG 220 M1

    QMG 220 M2

    QMG 220 M3

    检测器

    法拉第 Faraday (F)

    电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

    质量数 amu

    1–100

    1–200

    1–300

    1–100

    1–200

    1–300

    四极杆直径/长度

    6/100 mm

    最小检测极限 F mbar

    1X10-12

    2X10-12

    4X10-12

    5X10-12

    1X10-11

    2X10-11

    最小检测极限 M mbar

    -

    -

    -

    1X10-14

    < 2X10-14

    < 4X10-14

    对Ar的灵敏度 F A/mbar

    1X10-3

    6X10-4

    3X10-4

    5X10-4

    3X10-4

    1.5X10-4

    对Ar的灵敏度 M A/mbar

    -

    -

    -

    200

    200

    100

    最大工作压力 F

    1X10-4 mbar

    最大工作压力 M mbar

    -

    -

    -

    1X10-5

    1X10-5

    1X10-5

    对临近质量数的影响

    < 10 ppm

    < 20 ppm

    < 50 ppm

    < 10 ppm

    < 20 ppm

    < 50 ppm

    操作温度 F

    150 °C

    烘烤温度 F

    200 °C / 300 °C

    连接法兰

    DN 40 CF-F

    重量

    2.4 kg

    2.4 kg

    2.4 kg

    3.8 kg

    3.8 kg

    3.8 kg

  • Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus 尺寸及抽速:

    OMG 220F

     

    OMG 220M

  • Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus 应用领域:

    1. 冶金

    2. 真空炉

    3. 加速器

    4. 溅射工艺分析

    5. 半导体生产

    6. 玻璃镀膜

    7. 研发

    8. 真空工艺

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