涡轮分子泵HiPace 1200-2300

Turbopumps HiPace 1200-2300

产品描述

上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 1200-2300, 抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, HiPace 1200 - 2300系列涡轮分子泵可以倒置安装. 对小分子量气体(H2, He)和大分子量气体(Ar, CF4)都有很高的抽速.

  • 产品优势
  • 技术参数
  • 尺寸及抽速
  • 应用领域
  • 涡轮分子泵HiPace 1200-2300 产品优势:

    1.抽速从 1200-2300 l/s 的全系列产品
    2.安装角度可选 0°-90° 和 90°-180°
    3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
    4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统
    5.电压范围 90 - 265 V
    6.获得 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV认证
    7.防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
    8.适用于各种严苛工艺如刻蚀, 溅镀, 分子泵耐粉尘
    9.集成分子泵控制器 TC 1200, 可直接连接一般电源

     

    订货号:

    Flange

    ISO-K

    ISO-F

    CF-F

    ISO-K

    ISO-F

    CF-F

    Orientation of the HV flange

    up (0° – 90°)

    upside down (90° – 180°)

    Pump type

    HiPace® 1200, DN 200, TC 1200

    Standard version

    PMP03910

    PMP03911

    PMP03912

    PMP03913

    PMP03914

    PMP03915

    Corrosive gas version

    PMP03916

    PMP03917

    PMP04190

    PMP03918

    PMP03919

    PMP04191

    Pump type

    HiPace® 1500, DN 250, TC 1200

    Standard version

    PMP04060

    PMP04061

    PMP04062

    PMP04063

    PMP04064

    PMP04065

    Corrosive gas version

    PMP04066

    PMP04067

    PMP04192

    PMP04068

    PMP04069

    PMP04193

    Pump type

    HiPace® 1800, DN 200, TC 1200

    Standard version

    PMP04070

    PMP04071

    PMP04073

    PMP04074

    Corrosive gas version

    PMP04076

    PMP04077

    PMP04078

    PMP04079

    Pump type

    HiPace® 2300, DN 250, TC 1200

    Standard version

    PMP03920

    PMP03921

    PMP03922

    PMP03923

    PMP03924

    PMP03925

    Corrosive gas version

    PMP03926

    PMP03927

    PMP04194

    PMP03928

    PMP03929

    PMP04195

     

  • 涡轮分子泵HiPace 1200-2300 技术参数:

    分子泵型号

    分子泵连接尺寸 DN

    抽速 l/s

    压缩比

    最高启动压强hPa

    极限压力

    全转速气体流量hPa l/s

    启动时间

    重量

    进气口

    排气口

    氮气N2

    氦气He

    氢气 H2

    氮气N2

    氮气N2

    hPa

    氮气N2

    min

    kg

    HiPace® 1200

    200

    40

    1,250

    1,300

    1,100

    > 1X108

    2

    < 1X10–7

    20

    2.5

    27 – 40

    HiPace® 1500

    250

    40

    1,400

    1,350

    1,150

    > 1X108

    2

    < 1X10–7

    20

    2.5

    29 – 41

    HiPace® 1800

    200

    40

    1,450

    1,650

    1,700

    > 1X108

    1.8

    < 1X10–7

    20

    4

    33 – 34

    HiPace® 2300

    250

    40

    1,900

    2,000

    1,850

    > 1X108

    1.8

    < 1X10–7

    20

    4

    34 – 47

    C = 抗腐蚀性气体
    T = 温控管理

  • 涡轮分子泵HiPace 1200-2300 尺寸及抽速:

    分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-K

    分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-K


    分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-F

    分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-F


    分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 CF-F

    分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 CF-F


    分子泵 HiPace™ 1200, pumping speed

    分子泵 HiPace™ 1200, pumping speed


    分子泵 HiPace™ 1500, DN 250 ISO-K

    分子泵 HiPace™ 1500, DN 250 ISO-K


    分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 ISO-F

    分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 ISO-F


    分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 CF-F

    分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 CF-F


    分子泵 HiPace™ 1500, pumping speed

    分子泵 HiPace™ 1500, pumping speed


    分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-K

    分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-K


    分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-F

    分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-F


    分子泵 HiPace™ 1800, pumping speed

    分子泵 HiPace™ 1800, pumping speed


    分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-K

    分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-K


    分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-F

    分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-F


    分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 CF-F

    分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 CF-F


    分子泵 HiPace™ 2300, pumping speed

    分子泵 HiPace™ 2300, pumping speed

  • 涡轮分子泵HiPace 1200-2300 应用领域:

    1. 分析仪器

    2. 半导体

    3. 镀膜

    4. 工业 

    5. 研发

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电话: +86-21-5046-1322
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