美国 KRI 射频离子源 RFICP 380

Ion source Gridded RFICP 380

产品描述

上海伯东美国 KRi 大口径射频离子源 RFICP 380, 3层栅极设计, 栅极口径 38cm, 提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 最大离子束流 > 1000mA, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用.

  • 产品特性
  • 技术参数
  • 组成构件
  • 应用案例

  • 美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 产品特性：

    美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 特性:

    1. 大面积射频离子源

    2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求

    3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求

    4. 离子束流: >1500 mA

    5. 离子动能: 100-1200 V

    6. 中和器: LFN 2000

    7. 采用自动控制器, 一键自动匹配

    8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW

    9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装

    10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用

    11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
     

  • 美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 技术参数：

    伯东 KRI 射频离子源 RFICP 380 技术参数：

    射频离子源型号

    RFICP 380

    Discharge 阳极

    射频 RFICP

    离子束流

    >1500 mA

    离子动能

    100-1200 V

    栅极直径

    30 cm Φ

    离子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    15-50 sccm

    通气

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型压力

    < 0.5m Torr

    长度

    39 cm

    直径

    59 cm

    中和器

    LFN 2000

     

  • 美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 组成构件：

    1. 底座风冷风扇
    2. Grid ((柵級)) 模組
    3. RF Coil (射频铜管)
    4. 石英杯
    5. LFN 2000 (灯丝) 中和器

  • 美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 应用案例：

    1. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 应用于离子刻蚀 IBE

    2. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 325 辅助 LED-DBR 镀膜

    3. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)

    点击查看更多离子源应用案例》》》

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