普发 Pfeiffer 真空泵

抽速 10-260 l/s 复合轴承涡轮分子泵, 占用空间小, 易于系统集成, 分子泵稳健性工业设计

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抽速 300-790 l/s 复合轴承涡轮分子泵

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涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M | 普发 Pfeiffer

上海伯东德国普发 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M: 抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵. HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承. 动平衡装置会进行自动校准, Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移. 低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比.
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抽速 1000-2000 l/s 复合轴承分子泵, 高抽速, 更大的气流量, 适合高粉尘制程

型号	HiPace 1200	HiPace 1500	HiPace 1800	HiPace 2300
抽速 l/s	1250	1400	1450	1900

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世界上最小的涡轮分子泵, 抗振, 针对小腔体设计研发

分子泵型号	抽速 l/s	压缩比	预抽真空 hPa	极限真空 hPa
HiPace 10	10	3X10⁶	25	< 5X10^–5

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高气体吞吐量和高压缩比使其成为同类涡轮分子泵中的明星产品

型号	抽速 l/s	压缩比	最高启动压强 hPa	极限真空 hPa
HiPace 30	32	1X10¹¹	24	< 1X10^–7

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分子泵型号	抽速 l/s	压缩比	最高启动压强 hPa	极限真空 hPa
HiPace 60 P	64	1X10⁶	4	< 1X10^–7

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高性能涡轮分子泵, 任意位置安装. 自然风冷

分子泵型号	抽速 l/s	压缩比	预抽真空 hPa	极限真空 hPa
HiPace 80	67	> 1X10¹¹	22	< 1X10^–7

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