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干式真空泵 A 200 L
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干式真空泵 A 100 L
产品描述
上海伯东销售维修 Pfeiffer 干式真空泵（多级罗茨泵）A 100 L-A 200 L, 用于洁净制程的整体式干泵, 紧凑设计, 大抽速, 低能耗, 满足半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求, 是load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺的完美解决方案.
干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时, 提供干燥无尘的洁净真空. 低噪音和低振动是该水冷型干泵的其他优势, 小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性, 是各大设备厂商首选.
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干式真空泵 A 100 L,A 200 L 产品优势：
上海伯东 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要优点:
1.高气流量，大抽速
2.结构紧凑，占地面积小
3.易于集成，运行成本低
4.低噪音和低震动，无油无尘
5.即插即用系统：集成型监察装置
6.干式真空泵 RS232 / RS485 接口可选
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干式真空泵 A 100 L,A 200 L 技术参数：
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技术参数
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型号
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进气口尺寸 DN
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极限压力 hPa
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抽速
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噪音比
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重量
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m3/h
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dB (A)
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kg
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A 100 L
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50
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6.6 X 10-3
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100
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58
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100
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A 100L ES
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50
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7 X 10-4
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100
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55
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100
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A 200 L
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50
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8 X 10-3
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200
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58
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100
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L:标准版本 ES:节能版本
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干式真空泵 A 100 L,A 200 L 抽速图：
干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速图
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干式真空泵 A 100 L,A 200 L 在售型号：
干式真空泵 A 100 L 标准版本
冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型号：
A 100 L 标准版本，低电压，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
A 100 L ES 节能版本
紧凑型干泵集成节能模块，有效减少了 50% 的耗电量。冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型号：
A 100 L ES 节能版本，低电压，16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，19 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
