KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

霍尔离子源射频离子源考夫曼离子源离子源自动控制器

KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 属于栅网离子源, 可选聚焦型考夫曼离子源, 平行型考夫曼离子源, 散射型离子源.

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 160

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 160. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.

离子源型号

Discharge

离子束流

离子动能

离子束

流量

典型压力

中和器

栅极直径

长度

直径

通气

离子源 KDC 160

DC 热离子

>650 mA

100-1200 V

聚焦, 平行, 散射

2-30 sccm

< 0.5m Torr

灯丝

16 cm Φ

25.2 cm

23.2 cm

Ar, Kr, Xe,

O2, N2, H2, 其他

* 可选: 可调角度的支架

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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 75, 紧凑栅网离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子源型号	Discharge	离子束流	离子动能	离子束	流量	典型压力	中和器	栅极直径	长度	直径	通气
离子源 KDC 75	DC 热离子	>250 mA	100-1200 V	聚焦, 平行, 散射	2-15 sccm	< 0.5m Torr	灯丝	7.5 cm Φ	20.1 cm	14 cm	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架

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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 系列. 属于栅网离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >10 mA~650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.

加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
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KRI 考夫曼离子源 KDC 100

上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅网离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子源型号	Discharge	离子束流	离子动能	流量	典型压力	中和器	栅极直径	长度	直径	通气
离子源 KDC 100	DC 热离子	>400 mA	100-1200 V	2-20 sccm	< 0.5m Torr	灯丝	12 cm Φ	23.5 cm	19.4 cm	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

* 可选: 可调角度的支架

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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 40. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.

离子源型号	Discharge	离子束流	离子动能	栅极直径	流量	典型压力	长度	直径	中和器
离子源 KDC 40	DC 热离子	>100 mA	100-1200 V	4 cm Φ	2-10 sccm	< 0.5m Torr	17.1 cm	9 cm	灯丝

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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 10, 宽束栅网离子源,最小型号的离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.

离子源型号	Discharge	离子束流	离子动能	流量	典型压力	栅极直径	长度	直径	中和器
离子源 KDC 10	DC 热离子	>10 mA	100-1200 V	1-5 sccm	< 0.5m Torr	1 cm Φ	11.5 cm	4 cm	灯丝

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