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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 / 冷冻机
产品描述
上海伯东代理美国 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机，利用低温冷媒(-100度)通过盘管，将水蒸气吸附在冷盘上，快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷冻机抽水气效率高达 220,000 l/s，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，目前 Polycold 冷冻机主要应用于半导体和真空镀膜行业，客户通过使用 Polycold 水汽深冷泵，产能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供单管路和双管路配置满足您的不同应用，可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵，罗茨泵，干泵和美国 KRI 考夫曼离子源共同使用。冷冻机 Polycold MaxCool 4000 H 是旧款型号PFC-1102 HC全新升级款！
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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 / 冷冻机 产品优势：
低温范围：-98 至 -133C
真空抽气时间缩短 75%
高效的抽水汽效率：327,800 到 220,000 l/s
产品产量提高 20% 到 100%
在工艺过程中降低水蒸汽的分压力，从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
相对于液氮制冷 LN2，Polycold 冷冻机选用无毒、环保型冷媒，可循环使用
低功率，低能耗，最大负载 4000 W
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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 / 冷冻机 技术参数：
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标准性能
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最大负载：Watts
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4000
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抽水汽效率(理论值)：l/s
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327,800
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保守抽速：l/s
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220,000
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极限真空：mbar
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7 x 10-8
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启动压力：atm
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1
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除霜时间：分钟
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5.5
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低温盘管,连接管路
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盘管表面面积：m2
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2.2
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单管路：
盘管直径：mm
盘管长度：m
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16
43
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双管路：
盘管直径：mm
盘管长度：m
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16
21.9
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标准外部连接管长度：m
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2.44
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配套设施
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冷却水流量：rate l/min.
13 C˚
26 C˚
29 C˚
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13.6
27.3
54.1
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功率 kW
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19.2
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工作噪音(最大)：db
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78
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占地空间(最小)：m3
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34
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重量：kg
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533
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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 / 冷冻机 抽水汽效率：
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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 / 冷冻机 产品应用：
Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比，冷媒可循环使用，大大降低了企业成本。Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业。
