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KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列
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KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC
产品描述
上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 系列. 属于栅网离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.
离子束流: >10 mA~650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.
加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各类应用. 可以直接整合在各类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.
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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 产品优势：
伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性：
1.通过加热灯丝产生电子
2.低电流高能量宽束型离子源
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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 技术参数：
伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数：
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离子源型号
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离子源 KDC 10
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离子源 KDC 40
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离子源 KDC 75
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离子源 KDC 100
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离子源 KDC 160
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Discharge
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DC 热离子
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DC 热离子
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DC 热离子
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DC 热离子
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DC 热离子
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离子束流
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>10 mA
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>100 mA
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>250 mA
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>400 mA
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>650 mA
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离子动能
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100-1200 V
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100-1200 V
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100-1200 V
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100-1200 V
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100-1200 V
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栅极直径
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1 cm Φ
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4 cm Φ
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7.5 cm Φ
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12 cm Φ
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16 cm Φ
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离子束
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聚焦, 平行, 散射
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流量
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1-5 sccm
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2-10 sccm
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2-15 sccm
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2-20 sccm
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2-30 sccm
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通气
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Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
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典型压力
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< 0.5m Torr
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< 0.5m Torr
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< 0.5m Torr
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< 0.5m Torr
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< 0.5m Torr
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长度
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11.5 cm
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17.1 cm
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20.1 cm
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23.5 cm
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25.2 cm
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直径
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4 cm
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9 cm
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14 cm
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19.4 cm
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23.2 cm
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中和器
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灯丝
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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 应用领域：
KRI 考夫曼离子源 KDC 应用：
1.辅助镀膜(光学镀膜) IBAD
2.溅镀&蒸镀 PC
3.表面改性, 激活 SM
4.沉积 DD
5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD
6.离子蚀刻 IBE
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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 应用案例：
KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列应用案例:
1. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)
2. 伯东 KRI Gridded 考夫曼离子源用于离子束抛光工艺
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