Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310

Pfeiffer ASM 310

产品描述

上海伯东德国普发 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 设计紧凑, 占用空间小, 前级泵清洁无油, 极轻的重量(21kg)和全球通用电压使它成为理想的检漏工具. 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪最轻便紧凑的产品. 它集成了德国普发 Pfeiffer 高真空技术在检漏领域超过 45 年的专业研究和经验.

  • 产品介绍
  • Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 产品介绍:

    上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 设计紧凑, 重量仅 21kg, 占用空间小, 前级泵清洁无油, 全球通用电压, 满足无任何污染工艺要求. 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪最轻便紧凑的产品!

    便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 特性:
    1. 集成无油真空系统: 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 + ATH 系列涡轮分子泵
    2. 支持真空或吸枪检漏模式, 重量仅 21 Kg
    3. 氦气抽速 1.1l/s, 进气口压力 15 hPa
    4. 丰富的可选配件: 吸枪, 遥控器, 小推车, 标准漏孔等, 兼容 RC 10 遥控器
    5. 带有可伸缩手柄的灵巧设计
    6. 可以在任何位置操作: 水平或垂直, 较低的维护
    7. USB 接口, 方便数据传输, 
    8. 带有图像功能的大屏幕高亮度彩色触摸屏, 10种语言可选
    氦质谱检漏仪 ASM 310

    便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 技术参数:

    便携式氦质谱检漏仪

    ASM 310

    对氦气的最小检测漏率

    真空模式 5E-13 Pa m3/s
    吸枪模式 1E-8 Pa m3/s

    检测模式

    真空模式和吸枪模式
    检漏方法 >>

    无油前级泵抽速

    1.7m3/h

    检测气体

    4He , 3He, H2

    响应时间

    <1s

    对氦气的抽气速度

    1.1 l/s

    进气法兰

    DN 25 ISO-KF

    进气口最大压力

    15 hPa

    通讯接口

    RS-232

    工作温度

    10-40 °C

    噪音水平

    < 45 dB (A)

    Interface

    RS-232, I/O, USB

    电压

    90-240 V AC, 50/60 Hz, 全球通用

    最大功耗

    300 VA

    启动时间

    < 2 min

    尺寸

    350 X 254 X 415 mm

    重量

    21 kg

     

    便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 尺寸:
    氦质谱检漏仪 AM 310

    便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 常用配件:

    吸枪

    遥控器 RC 10

    2轮推车

    运输箱

    检漏仪吸枪

    检漏仪遥控器

    检漏仪推车

    检漏仪运输箱


    Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 应用:
    1. 半导体, 镀膜, 太阳能
    2. 分析仪器, 科研, 加速器质谱
    3. 工业, 电厂, 化工
    4. 系统集成

    上海伯东检漏仪客户案例

    光刻机检漏
    半导体用光刻机检漏, 整机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用负压法检漏. 漏率设置 5x10-11pa m3/s.

    光刻机检漏

    杜瓦封装检漏
    内部集成红外探测器的 2m3 杜瓦封装器件, 应用于火星探测项目, 杜瓦封装器件采用真空模式检漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.

    杜瓦瓶检漏

    超高真空系统检漏
    超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 为保证较高的真空度, 需要对整个真空系统的焊缝, 法兰口等怀疑有漏的地方进行泄漏检测. 为保证实验腔体的清洁干燥, 选择前级泵为干泵的氦质谱检漏仪

    超高真空系统检漏


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