Pfeiffer 普发 检漏仪无损泄露检测发布日期：2022-03-22

上海伯东 普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪超高真空系统检漏


上海伯东德国 Pfeiffer 便携式检漏仪 ASM 310 成功应用于超高真空系统检漏

检漏原因: 超高真空 Ultra-high vacuum, 真空度一般 < E-7 mbar, 在超高真空的环境下可以进行材料催化, 晶体生长,粒子加速等实验, 为保证较高的真空度, 需要对整个真空系统的焊缝, 法兰口等怀疑有漏的地方进行泄漏检测. 为保证实验腔体的清洁干燥, 不能出现油气污染等情况的发生, 因此需要选择内部集成干泵的检漏仪.




检漏方法: 如上图所示, 采用真空法检漏, 检漏仪通过波纹管与真空腔体连接, 在怀疑有漏的地方喷氦气, 如果检漏仪报警, 说明此处有漏.

上海伯东 Pfeiffer 便携式检漏仪 ASM 310 主要参数:

型号

连接法兰

进气口最大压力

氦气抽速

前级泵抽速(干泵)

噪音

重量

ASM 310

DN 25 ISO-KF

15 hPa

1.1l/S

1.7m3/h

<45db(A)

21KG

 

 

上海伯东是德国 普发 Pfeiffer  真空设备, 美国  KRI 考夫曼离子源, 日本  NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国  HVA 真空阀门, 美国  Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本  Atonarp过程质谱仪  和  美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

 

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