伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340D用于继电器检漏
随着航天技术的不断发展, 泄漏问题已成为航天产品设计制造中必须考虑的关键因素, 越来越多地受到各方的关注, 相关电子元器件漏率检测已引起科研人员的高度重视. 在我们研制的电子元器件中, 目前应用检漏技术的主要为密封继电器. 微型密封高可靠极化继电器要求漏气速率小于1×10-9 Pa ·m3／s.
利用氦质谱检漏仪 ASM 340D可以方便地对密封继电器作漏率测定. 针对不同的产品, 我们必须选择适当的检漏方法. 目前比较成熟的检漏方法有喷吹法、氦罩法、充压法、吸枪法、探漏盒法、累积检漏法、背压法.
在氦质谱检漏中, 与检漏方法密切相关的仪器技术指标主要有以下几项：
1.最小可检漏率：当存在本底噪声时, 将仪器调到“最佳”工作状态, 纯示漏气体通过漏孑L时, 仪器所能检出的最小漏率(也就是以前所说的仪器灵敏度). 最小可检漏率是氦质谱检漏仪最核心的技术指标.
2.有效最小可检漏率：当存在本底噪声时, 仪器及外部检漏系统调到某一检漏工作状态(可能有分流), 当纯示漏气体通过漏孔时, 部分或全部示漏气体进入检漏仪, 在此情况下所能检出的最小漏率(也就是以所说的检漏灵敏度).
3.反应时间：从示漏气体施加到漏孑L进气端开始, 到检漏仪净偏转值达到最大漏气信号的63％所经历的时间.
4.清除时间：从漏孔进气端停止施加示漏气体开始, 到检漏仪净偏转值下降到最大漏气信号的37％所经历的时间.
继电器的背压法检漏：
背压法检漏主要适用于小型全密封工件, 如继电器等
继电器的背压检漏法一般分为三步：
- 氦压：将被检继电器放入充氦的压力罐中；按照GJB 360A一96规定计算内腔体积, 选择适当的加压压力和加压时间, 若继电器有漏, 则高压氦气被压入继电器内腔.
- 净化：从压力罐中取出继电器, 用氮气流或空气流吹净继电器表面吸附的氦气.
- 检漏：将继电器放人检漏仪的检漏盒中进行检测(检测之前, 检漏仪的各项技术指标已调到最佳工作状态), 若继电器有漏, 压人内腔的氦气会经漏孑L进入检漏仪, 仪器上会有漏率显示. 背压法检漏示意图如图
继电器照片:
上海伯东代理的德国Pfeiffer ASM 340D 型氦质谱检漏仪是一种多用途、全功能、高灵敏度检漏仪, 它由离子源、分析器、检测器、真空系统和电子线路组成. 其真空获得系统采用德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 缩短了启动时间（大约 3min）.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点:
1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s
3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检测漏率：
真空模式：5E-13 Pa m3/s
吸枪模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率
4. 移动式操作面板（有线、无线）
5. 集成SD卡, 方便资料处理
6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等
8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 340 与友厂同级别相比,前级泵抽速和分子泵对氦气的抽速更大, 目前业内公认最大的进气口压力25 hPa, 有效减少检测时间. 目前市场上唯一一款在100 hPa 即可进行大漏测试的氦质谱检漏仪.
氦质谱检漏仪 ASM 340 由德国 Pfeiffer 独家设计和制造, 其配备的 Pfeiffer 分流式分子泵广泛应用于友厂,如英福康 Inficon UL1000 检漏仪, 爱发科 Ulvac Heliot 检漏仪, 布鲁克 Bruke 医疗设备, 岛津 Shimadzu 分析仪器等.
上海伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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