某知名半导体公司伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对半导体特殊器件进行检漏.
待检漏物品如下:
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
型号 |
ASM340 |
ASM340 D |
ASM340 I |
对氦气的最小检测漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
检测模式 |
真空模式和吸枪模式 |
真空模式和吸枪模式 |
真空模式和吸枪模式 |
检测气体 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
启动时间 min |
3 |
3 |
3 |
对氦气的抽气速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
进气口最大压力 hPa |
25 |
25 |
5 |
前级泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前级泵 |
重量 kg |
56 |
45 |
32 |
半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间, 利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件, 可用来产生, 控制, 接收, 变换, 放大信号和进行能量转换, 对密封性的要求极高, 如果存在泄漏会影响其使用性能和精度, 因此需要进行检漏.
伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 最小检漏漏率达 5E-13 Pa m3/s, 完美解决客户半导体特殊器件存在泄漏的问题.
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