HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机
某知名品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
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阀门材质:
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- 阀门主体
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304 不锈钢
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- 焊接波纹管轴封
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AM - 350
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阀门密封方式
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- 高真空
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氟橡胶
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- 超高真空
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铜垫圈 / 氟橡胶
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真空:
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- 压力范围
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高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar
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- 漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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- 差压关闭
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1 bar ( 任意位置 )
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- 开启前最大压力
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≤ 30 mbar
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烘烤温度（不含电磁阀）:
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- 弹性体密封阀盖
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150°C
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- 金属密封阀盖
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-开启温度：200°C
-关闭值：150°C
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- 驱动方式
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手动 60 °c, 气动 60 °c
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机制
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手动：
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手摇曲柄
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电磁阀供电电压
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120 VAC 50 /60 Hz
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电磁阀可选电压
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24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC
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电磁阀位置指示器,最大
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115 VAC
或 28 VDC, 20 mA
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气动送风：
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80 psig
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使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)
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公称通径: DN 16 - 800 mm
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E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.
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