伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM390 用于MOCVD 设备检漏
某电子材料公司采用伯东移动式氦质谱检漏仪 ASM390 对生产系统 MOCVD 进行检漏，主要针对气体的输运系统, 管路和管道的接头等存在泄漏可能的部位需要重点排查, 保证反应系统无泄漏.
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM390 技术参数:
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型号
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ASM390
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检测气体
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4He, 3He, H2
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最小检测漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
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对氦气的抽速
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10 l/s
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前级泵抽速
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35 m3/h
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进气口最大压力
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20 mbar
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无校准的启动时间(20°C)
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2 min
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进气口
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DN 40 ISO-KF
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响应时间
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< 1 s
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Interface, 选配
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RS-232, I/O, Ethernet
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噪音
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≤ 55 dB (A)
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重量
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125 kg
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尺寸(LxWxH)
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1072 x 455 x 1025 mm
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MOCVD 设备需要检漏:
因为MOCVD生长使用的源是易燃, 易爆, 毒性很大的物质, 并且要生长多组分, 大面积, 薄层和超薄层异质材料. 因此在MOCVD系统的设计思想上, 必须考虑系统密封性. 对于气体的输运系统, 管路和管道的接头等存在泄漏可能的部位需要重点排查, 保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一.
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