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涡轮分子泵 HiPace80
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涡轮分子泵 HiPace80
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涡轮分子泵 HiPace80
产品描述
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵. HiPace 80 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据保证分子泵的最高安全性. 涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.
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普发涡轮分子泵 HiPace 80 产品优势：
分子泵稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 80 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
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分子泵
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分子泵电源与控制器连接线
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风扇
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OmniControl 200
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接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
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.jpg)
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接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
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普发涡轮分子泵 HiPace 80 技术参数：
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进气口
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DN 63
ISO-K
|
DN 63
CF-F
|
DN 40
ISO-KF
|
DN 63
ISO-K
|
DN 63
CF-F
|
DN 40
ISO-KF
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图片
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分子泵控制器
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型号
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标配
TC 110
|
标配
TC 110
|
标配
TC 110
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选配
TCP 350
|
选配
TCP 350
|
选配
TCP 350
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抽速
|
Ar L/S
|
66
|
66
|
30
|
66
|
66
|
30
|
|
H2 L/S
|
48
|
48
|
38
|
48
|
48
|
38
|
|
He L/S
|
58
|
58
|
41
|
58
|
58
|
41
|
|
N2 L/S
|
67
|
67
|
35
|
67
|
67
|
35
|
|
压缩比
|
Ar
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
|
H2
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
|
He
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
|
N2
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
|
全转速时气体流量
|
Ar hPa l/s
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
|
H2 hPa l/s
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
|
He hPa l/s
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
|
N2 hPa l/s
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
|
极限压力
|
hPa
|
＜1X10-7
|
＜5X10-10
|
＜1X10-7
|
＜1x10-7
|
＜5x10-10
|
＜1x10-7
|
|
最大预抽真空
|
N2
|
22
|
22
|
22
|
22
|
22
|
22
|
|
电压
± 5 %
|
VDC
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
|
最大电流
|
A
|
4.6
|
4.6
|
4.6
|
5.5
|
4.6
|
4.6
|
|
转速± 2 %
|
RPM
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
|
声噪
|
dB(A)
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
|
允许最大磁场
|
mT
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
|
启动时间
|
min
|
1.7
|
1.7
|
1.7
|
3
|
3
|
3
|
|
重量
|
kg
|
2.4
|
3.8
|
2.4
|
2.1
|
3.5
|
2.1
|
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
若您需要进一步的了解若您需要进一步的了解分子泵详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 罗小姐 台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 ( 微信同号 ) M: +886-939-653-958
qq: 2821409400
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
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普发涡轮分子泵 HiPace 80 尺寸及抽速：
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普发涡轮分子泵 HiPace 80 应用领域：
分析仪器： 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体： PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业： 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
研发： 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
上海伯东客户分子泵应用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
上海伯东客户分子泵应用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备
