涡轮分子泵 HiPace 1200
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可达 1250 l/s 的高性能涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 通过控制器, 监控运算数据保证分子泵的最大安全性. 涡轮分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 涡轮分子泵 HiPace 1200 通讯接口 RS-485, 远程遥控(Profibus/DeviceNet 备询), 多种配件供客户选择.
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
运行数据监控形成的最高运行安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
标准款涡轮分子泵 HiPace 1200 在售型号
高工艺适用性, 防止进入颗粒
进气口 |
分子泵控制器 |
I/O接口 |
集成电源包 |
DN 200 ISO-K |
另配 TCP 1200 |
TCP 1200 |
- |
DN 200 ISO-F |
另配 TCP 1200 |
TCP 1200 |
- |
DN 200 CF-F |
另配 TCP 1200 |
TCP 1200 |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
涡轮分子泵 HiPace 1200 U 在售型号
安装位置:高架 (90°-180°)
进气口 |
分子泵控制器 |
I/O接口 |
集成电源包 |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
耐腐蚀涡轮分子泵 HiPace 1200 C 在售型号
专为腐蚀性气体而设计, 带有附有涂层转子和耐腐蚀性气体的工作流体, 非常适用于腐蚀性气体应用
进气口 |
分子泵控制器 |
I/O接口 |
集成电源包 |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
耐腐蚀, 90°-180°安装位置涡轮分子泵 HiPace 1200 UC 在售型号
耐腐蚀,安装位置:高架 (90°-180°)
进气口 |
分子泵控制器 |
I/O接口 |
集成电源包 |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
- |
DN 200 ISO-K |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
DN 200 ISO-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
DN 200 CF-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
- |
若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
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型号 |
HiPace 1200 TC 1200 |
HiPace 1200 TC 1200 |
HiPace 1200 TC 1200 |
Ar 压缩比 |
>1X108 |
>1X108 |
>1X108 |
H2 压缩比 |
6X103 |
6X103 |
6X103 |
He 压缩比 |
2X104 |
2X104 |
2X104 |
N2 压缩比 |
>1X108 |
>1X108 |
>1X108 |
最大预抽真空, N2 hPa |
2 |
2 |
2 |
Ar全转速时气体流量hPa l/s |
11 |
11 |
6 |
H2 全转速时气体流量hPa l/s |
>30 |
>30 |
>30 |
He全转速时气体流量hPa l/s |
>30 |
>30 |
16 |
N2 全转速时气体流量hPa l/s |
20 |
20 |
16 |
操作电压 V AC |
100-120 / 200-240 |
100-120 / 200-240 |
100-120 / 200-240 |
最大电流 A |
10 |
10 |
10 |
允许最大磁场 mT |
6 |
6 |
6 |
Ar抽速l/s |
1200 |
1200 |
1200 |
H2 抽速l/s |
1100 |
1100 |
1100 |
He 抽速 l/s |
1300 |
1300 |
1300 |
N2 抽速l/s |
1250 |
1250 |
1250 |
转速 ± 2 % rpm |
37800 |
37800 |
37800 |
启动时间 min |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
极限真空 hPa |
1X10-7 |
1X10-7 |
5X10-10 |
重量 kg |
29.5 |
30.5 |
40.9 |
镀膜:LED、光伏、硬盘镀膜、硬质涂层、卷绕镀膜、光学镀膜、CD/DVD/PVD
工业:医学技术、电子束焊接、隔离真空、灯管制造
研发:聚变研究、 等离子研究、模拟空间站、基本粒子物理学、生物技术
半导体:PVD、CVD、Beamline、MBE
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