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涡轮分子泵 HiPace 60P
产品描述
上海伯东代理德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可达到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮气吹扫阀, 耐粉尘, 特别适合工业环境, 无 Holweck-stage, 通过保护等级 IP54. 集成控制器 TC 110 保证分子泵的最大安全性. 涡轮分子泵 HiPace 60P 可以安装在任何方向, 自然水冷或风冷.
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涡轮分子泵 HiPace 60P 产品优势：
1.耐粉尘，特别适合工业环境
2.通过保护等级 IP54
3.任意角度安装
4.自然水冷或风冷
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涡轮分子泵 HiPace 60P 技术参数：
分子泵 HiPace 60P 技术参数:
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型号
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HiPace® 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K
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HiPace® 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K
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复合轴承
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陶瓷球轴承
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Ar 压缩比
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2 X106
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H2 压缩比
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2 X102
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He 压缩比
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3.5 X103
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N2 压缩比
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1 X106
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标准冷却
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对流
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可选冷却
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风冷, 水冷
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冷却水消耗
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75 l/h
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冷却水温度
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5-25 °C
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电子驱动
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TC 110
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TC 110 RS
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进气法兰
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DN 63 ISO-K
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排气法兰
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DN 16 ISO-KF, G ¼"
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最大预抽真空, N2
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4 hPa
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全转速时气体流量, Ar
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0.83 hPa l/s
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全转速时气体流量, H2
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55 hPa l/s
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全转速时气体流量, He
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55 hPa l/s
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全转速时气体流量, N2
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9.2 hPa l/s
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通讯接口
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RS-485, Remote
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安装方式
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任意位置安装
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操作电压
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24 (± 5 %) V DC
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允许最大磁场
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4 mT
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保护类型
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IP 54
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抽速 Ar
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63 l/s
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抽速 H2
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28 l/s
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抽速 He
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48 l/s
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抽速 N2
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64 l/s
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转速 ± 2 %
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90,000 rpm
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启动时间
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1.1 min
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1 min
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极限真空
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< 1X10-6 hPa
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放气接口
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G 1/8"
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重量
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2.2 kg
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2.3 kg
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涡轮分子泵 HiPace 60P 尺寸及抽速：
伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 60P尺寸图：
伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 60P 对不同气体抽速：
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涡轮分子泵 HiPace 60P 应用领域：
1.镀膜: 光伏, CD/DVD/PVD
2.研发: 纳米技术, 生物技术
3.分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
4.工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
