涡轮分子泵 HiPace 2300
上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2300, 抽速最高可达 2050 l/s 高性能涡轮分子泵. 分子泵通过保护等级 IP54 认证. 高抽速和气体吞吐量. 集成驱动电路, 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业. 通过分子泵控制器, 监控操作数据保证分子泵的最大安全性. 集成水冷系统. 分子泵 HiPace 2300 提供防腐蚀款 C 和倒置款 U 供选择.
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
运行数据监控形成的最高运行安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
标准款涡轮分子泵 HiPace 2300 在售型号
高工艺适用性, 防止进入颗粒
进气口 |
分子泵控制器 |
I/O接口 |
集成电源包 |
DN 250 ISO-K |
另配 TCP 1200 |
TCP 1200 |
- |
DN 250 CF-F |
另配 TCP 1200 |
TCP 1200 |
- |
DN 250 ISO-F |
另配 TCP 1200 |
TCP 1200 |
- |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
涡轮分子泵 HiPace 2300 U 在售型号
安装位置: 高架 (90°-180°)
进气口 |
分子泵控制器 |
I/O接口 |
集成电源包 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
耐腐蚀涡轮分子泵 HiPace 2300 C 在售型号
专为腐蚀性气体而设计, 带有附有涂层转子和耐腐蚀性气体的工作流体, 非常适用于腐蚀性气体应用
进气口 |
分子泵控制器 |
I/O接口 |
集成电源包 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
耐腐蚀, 90°-180°安装位置涡轮分子泵 HiPace 2300 UC 在售型号
耐腐蚀,安装位置:高架 (90°-180°)
进气口 |
分子泵控制器 |
I/O接口 |
集成电源包 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程 |
是 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
RS-485, 远程, Profibus |
是 |
DN 250 ISO-K |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
DN 250 ISO-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
DN 250 CF-F |
TC 1200 |
E74, RS-485 |
是 |
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型号 |
HiPace 2300 TC 1200 |
HiPace 2300 TC 1200 |
HiPace 2300 TC 1200 |
Ar 压缩比 |
>1X108 |
>1X108 |
>1X108 |
H2 压缩比 |
2X104 |
2X104 |
2X104 |
He 压缩比 |
3X105 |
3X105 |
3X105 |
N2 压缩比 |
>1X108 |
>1X108 |
>1X108 |
最大预抽真空, N2 hPa |
1.8 |
1.8 |
1.8 |
Ar全转速时气体流量hPa l/s |
16 |
16 |
8 |
H2 全转速时气体流量hPa l/s |
>50 |
>50 |
30 |
He全转速时气体流量hPa l/s |
>30 |
>30 |
16 |
N2 全转速时气体流量hPa l/s |
28 |
28 |
11 |
操作电压 V AC |
90-265 |
90-265 |
90-265 |
最大电流 A |
10 |
10 |
10 |
允许最大磁场 mT |
7 |
7 |
7 |
Ar抽速l/s |
1800 |
1800 |
1800 |
H2 抽速l/s |
1850 |
1850 |
1850 |
He 抽速 l/s |
2000 |
2000 |
2000 |
N2 抽速l/s |
1900 |
1900 |
1900 |
转速 ± 2 % rpm |
31500 |
31500 |
31500 |
启动时间 min |
4 |
4 |
4 |
极限真空 hPa |
1X10-7 |
1X10-7 |
5X10-10 |
重量 kg |
35.5 |
36.6 |
51.8 |
涡轮分子泵 HiPace 2300 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业.
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