CTI On-board IS 低温泵

CTI 低温泵

CTI-Cryogenics IS 低温泵系统利用创新的高效技术, 获得专利的分布式控制系统可监控并不断调整低温泵系统的各个元件, 以保持良好的全系统真空性能, 从而实现出色的制程一致性.

 

主要特征 

1. 低能耗, 低冷却水消耗, 不影响真空性能

2. 易于系统集成

3. 快速的生产安装

4. 远程监控, 可进行预防性和预测性维护

5. 单泵和多泵配置中再生快

6. 运行时间长, 生产率高且总体使用成本低.

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