CTI 低温泵
CTI-Cryogenics IS 低温泵系统利用创新的高效技术, 获得专利的分布式控制系统可监控并不断调整低温泵系统的各个元件, 以保持良好的全系统真空性能, 从而实现出色的制程一致性.
主要特征
1. 低能耗, 低冷却水消耗, 不影响真空性能
2. 易于系统集成
3. 快速的生产安装
4. 远程监控, 可进行预防性和预测性维护
5. 单泵和多泵配置中再生快
6. 运行时间长, 生产率高且总体使用成本低.
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CTI On-Board® IS XP 低温泵
CTI On-Board® IS XP 低温泵可为 PVD 应用提供更大的容量, 从而在保持制程透明度的同时实现最高的生产率. 同时, 它具有成熟的能效、稳定的性能和较低的拥有成本.
CTI On-Board® IS XP 低温泵优势:
1. 提供容量余量以用于将来的制程改进
2. 更低的拥有成本
3. 增加的正常运行时间
4. 智能的“自我调节”技术以实现稳定的真空性能
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CTI On-Board® IS 320FX 低温泵
On-Board® IS 320FX 低温泵, 专为应对当今离子注入工艺的挑战而开发, 可提高氢气抽取速度和容量, 同时还能保持所有您对 On-Board® IS 320FE 低温泵所期望的质量、性能和可靠性优势.
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