PFEIFFER OnTool Booster 150分子泵

产品描述

       上海伯东代理新式的OnTool Booster带着强劲的功率和紧凑的结构出现在真空技术中。它以高达130 m3/h的抽速以及小于1 · 10-5 mbar的极限真空度而著称。到目前为止在很多应用领域高真空泵和前级泵之间都需要联接。但是因为OnTool Booster可以直接对大气进行排气,所以它不需要前级泵。因此用户可以节约场地和成本。因为设计紧凑,该泵可以直接安装在设备上(例如闸阀传输舱)。OnTool Booster也是研发,镀膜以及半导体工业等需要清洁环境的应用方面的最佳选择,因为工作过程中无颗粒物,腐蚀性气体以及冷凝物。它可以用于多种用途,既可以作为真空泵单独使用,也可以作为分子泵的前级泵使用。

  • 技术参数
  • 产品应用
  • PFEIFFER OnTool Booster 150分子泵 技术参数:

    OnTool Booster

    Model

    Pumping speed

    Base pressure

    Compression Ratio

    Applications

    OnTool Booster 150

    130 m3 · h-1

    1 · 10-5 hPa

    108

    Load locks, backing pumps for turbopumps

     

  • PFEIFFER OnTool Booster 150分子泵 产品应用:

    表面加工

    模拟舱

    白炽灯泡生产

    传输舱

    闸阀

    EUV-拼版印刷

    太阳能电池镀膜

    光学镀膜

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