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高精度气体分析仪 HiQuad™
产品描述
伯东公司普发 Pfeiffer 高精度气体分析仪 HiQuad™, 可实现最高达 125μs / amu 的极高测量速度, 使用 Quadera® 软件, 操作简单. 质谱分析仪模块化设计方便集成, 根据实际需要可以自由选择质量范围, 杆直径, 离子源, 探测器和界面.
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高精度气体分析仪 HiQuad™ 产品优势：
1. 模块化设计灵活
2. 使用 Quadera® 软件, 操作简单
3. 极高的测量速度, 最高达 125μs/ amu
4. 极高的灵敏度且动态范围宽
5. 内置的互联网浏览器和 OPC 服务器用于与基于 PC 的程序进行通信
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高精度气体分析仪 HiQuad™ 技术参数：
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质量数 amu
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1-128
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1-300
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1-512 *3)
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最低检测限 mbar
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5X10-16
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2X10-15
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1X10-15
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Ar 灵敏度,最低 *1) A/mbar
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1X10-3
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2X10-4
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5X10-4
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最大操作压力 mbar
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法拉第
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1X10-4
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1X10-4
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1X10-4
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SEM
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1X10-5
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1X10-5
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1X10-5
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分压比 SEM ppb
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< 0.3
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< 1
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< 0.5
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分析仪
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QMA 410
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QMA 430
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QMA 400
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杆系统, 材料 / 直径 mm
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Mo / 16
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不锈钢 / 8
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Mo / 8
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射频发生器 (RF)
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QMH 400-1
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QMH 400-5
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QMH 400-5
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静电计前置放大器
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EP 422
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EP 422
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EP 422
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工作温度 / 分析仪°C
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150
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150
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150
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烘烤温度 / 分析仪 *2) °C
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400
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400
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400
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连接法兰
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DN 100 CF-F
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DN 63 CF-F
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DN 63 CF-F
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*1) 偏转单元中的法拉第,标准分辨率,带磁铁的交叉束离子源,发射 1 mA
*2) 带磁铁, 最高 300°C
*3) 八小时内稳定性 < 0.1％, 有助于对相邻质量数 40Ar / 41
