美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000

KRI eH 1000

产品描述

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 1000 高效气体利用, 低成本设计提供高离子电流, 特别适合中型真空系统. 属于无栅网离子源. 通常应用于离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻.

尺寸: 直径= 5.7 = 5.5

放电电压 / 电流: 50-300V / 10A

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

  • 产品特性
  • 技术参数
  • 应用领域
  • 应用案例

CONTACT

您好, 我们的联络方式:
电话: +86-21-5046-1322
地址: 上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 201206

PRODUCTS 产品菜单

查看其他产品

最近浏览过的页面

在线谘询

谘询

电话

微信

微信

TOP