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DosiTorr
产品描述
上海伯东 代理 德国 PH-Instruments DosiTorr 是一款基于 Spinning Rotor Gauge (SRG) 技术 的高真空压力传感器，专为 半导体制造、离子注入、干法蚀刻 等严苛工业环境设计。其核心优势在于 长期稳定性、耐腐蚀、超清洁测量，可完全替代传统的电离规（Ion Gauge），解决漂移、沉积污染和频繁失效问题。
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DosiTorr SRG Transducer 高精度真空压力传感器 | PH-Instruments 产品优势：
| 特性 |
DosiTorr 优势 |
| 高精度 |
1% 读数精度（0.1 mbar ~ 1×10⁻⁶ mbar） |
| 长期稳定性 |
<1.5% 年漂移率，无需频繁校准 |
| 耐腐蚀 & 抗沉积 |
不锈钢传感器（1.4404/1.4034），适用于 BF₃、PH₅ 等腐蚀性气体 |
| 超清洁测量 |
无热丝、无电离效应，避免污染真空环境 |
| 快速响应 |
最快 1 秒（可调 1s/3s/5s/10s/20s/30s） |
| 模块化设计 |
传感器可更换，电子单元与真空隔离 |
| 兼容性 |
支持 KF25/KF40/CF40/VCR/NPT 法兰，即插即用替代电离规 |
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DosiTorr SRG Transducer 高精度真空压力传感器 | PH-Instruments 技术参数：
| 参数 |
DosiTorr |
传统电离规 (Ion Gauge) |
| 测量范围 |
10 mbar ~ 5×10⁻⁷ mbar |
10⁻³ mbar ~ 10⁻¹⁰ mbar（易漂移） |
| 精度 |
1% 读数（0.1~1×10⁻⁶ mbar） |
10%~20%（受污染影响大） |
| 长期稳定性 |
<1.5%/年 |
需频繁校准（每周~每月） |
| 耐腐蚀性 |
不锈钢材质，抗 BF₃/PH₅ |
钨丝易腐蚀，寿命仅数周~数月 |
| 响应时间 |
1s（快模式） |
0.1s~1s（但易受干扰） |
| 维护需求 |
几乎免维护（传感器可清洁/更换） |
需定期更换灯丝，维护成本高 |
| 真空污染风险 |
无（无热丝/电离） |
有（灯丝挥发、溅射污染） |
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DosiTorr SRG Transducer 高精度真空压力传感器 | PH-Instruments 产品应用：
半导体制造：离子注入机（ION Source & End Station）压力监测
干法蚀刻：等离子体腔室真空控制
校准实验室：作为高精度参考标准
光伏/LED：MOCVD 反应腔真空管理
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DosiTorr SRG Transducer 高精度真空压力传感器 | PH-Instruments 客户案例：
Applied Materials：用于 Varian 离子注入机替代电离规，减少 50% 维护停机时间
Nissin Ion：在 EXCEED 系列设备中实现稳定工艺控制
