DosiTorr
上海伯东 代理 德国 PH-Instruments DosiTorr 是一款基于 Spinning Rotor Gauge (SRG) 技术 的高真空压力传感器，专为 半导体制造、离子注入、干法蚀刻 等严苛工业环境设计。其核心优势在于 长期稳定性、耐腐蚀、超清洁测量，可完全替代传统的电离规（Ion Gauge），解决漂移、沉积污染和频繁失效问题。
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序号 |
核心优势 |
英文 |
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1 |
1:1直接替换多数电离规应用 |
"Reliable 1:1 replacement for many ion gauge applications" |
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2 |
首款自主工作的旋转转子真空计(SRG) |
"First autonomously working Spinning rotor gauge (SRG)" |
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3 |
传递标准级精度 |
"Transfer standard accuracy" |
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4 |
超宽测量范围：10 mbar 至 5×10⁻⁷ mbar |
"Measurement range: 10 mbar10mbar to 5×10−7 mbar5×10−7mbar" |
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5 |
100%线性输出，与气体种类无关 |
"100% linear100%linear" |
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6 |
极低漂移：年漂移率 < 1.5% |
"Drift--'free', <1.5%/year1.5%/year" |
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7 |
抗腐蚀与沉积 |
"Corrosion & deposition insensitive" |
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8 |
可更换传感器设计 |
"Replaceable sensor" |
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9 |
超洁净/无菌测量 |
"Super clean / sterile" |
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10 |
真空腔内无电子元件 |
"No electronics inside vacuum" |
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11 |
与设备同寿命设计 |
"Designed for tool lifetime" |
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12 |
标准工业电源：24VDC |
"24VDC power supply" |
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13 |
可配置模拟输出：0-10VDC |
"0−10 VDC output0−10VDC output (configurable)" |
| 参数 | DosiTorr | 传统电离规 (Ion Gauge) |
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| 测量范围 | 10 mbar ~ 5×10⁻⁷ mbar | 10⁻³ mbar ~ 10⁻¹⁰ mbar（易漂移） |
| 精度 | 1% 读数（0.1~1×10⁻⁶ mbar） | 10%~20%（受污染影响大） |
| 长期稳定性 | <1.5%/年 | 需频繁校准（每周~每月） |
| 耐腐蚀性 | 不锈钢材质，抗 BF₃/PH₅ | 钨丝易腐蚀，寿命仅数周~数月 |
| 响应时间 | 1s（快模式） | 0.1s~1s（但易受干扰） |
| 维护需求 | 几乎免维护（传感器可清洁/更换） | 需定期更换灯丝，维护成本高 |
| 真空污染风险 | 无（无热丝/电离） | 有（灯丝挥发、溅射污染） |
半导体制造：离子注入机（ION Source & End Station）压力监测
干法蚀刻：等离子体腔室真空控制
校准实验室：作为高精度参考标准
光伏/LED：MOCVD 反应腔真空管理
Applied Materials：用于 Varian 离子注入机替代电离规，减少 50% 维护停机时间
Nissin Ion：在 EXCEED 系列设备中实现稳定工艺控制
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