Polycold MaxCool 2500 L 水汽深冷泵 / 冷冻机
上海伯东代理美国 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 2500 L 冷冻机,最大负载 2500 W,水汽深冷泵利用低温冷媒(-120度)通过盘管,将水气吸附在冷盘上,快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 2500 L 冷冻机抽水气效率高达 140,000 l/s,在真空度 10-9 mabr 依然保证稳定吸附水气能力,特别适合半导体行业, MaxCool 2500 L 深冷泵提供单管路和双管路配置满足您的不同应用,可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵,罗茨泵,干泵和美国 KRI 考夫曼离子源共同使用。冷冻机 Polycold MaxCool 2500 L 是旧款型号 PFC-1102 LT 全新升级款!
1. 温度:-120 至 -145 C
2. 高真空抽气时间缩短 75%
3. 在真空度 10-9 mabr 依然保证稳定的水汽吸附能力:
4. 产品产量提高 20% 到 100%
5. 在工艺过程中降低水蒸汽的分压力,从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
6. 相对于液氮制冷 LN2,Polycold 冷冻机选用无毒、环保型冷媒,可循环使用
7. 低功率,低能耗,最大负载 2500 W
型号 |
MaxCool 2500 L |
最大负载:Watts |
2,500 |
最大抽速(理论值):l/s |
208,600 |
抽水汽效率(实际值):l/s |
140,000 |
极限真空:mbar |
1 x 10-9 |
最大启动压力:atm |
1 |
除霜时间:分钟 |
4.0 |
低温盘管、外部连接管 |
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盘管表面面积:m2 |
1.4 |
单管路: |
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双管路: |
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外部标准冷凝管长度:m |
2.44 |
冷却水流量:rate l/min. |
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工作噪音(最大):db |
68 |
占地空间(最小):m3 |
40 |
重量:kg |
544 |
Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,大大降低了企业成本。Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业。
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