阿尔卡特ATH3200M磁悬浮涡轮分子泵
轴承 |
五轴控制全磁浮轴承 |
转速 |
25000 min-1 |
对氮气的压缩比 |
> 1 · 10 8 |
最大进气压力N2 |
2.1 hPa |
对氮气的抽速 |
2800 l/s |
启动时间 |
< 10 min |
极限真空度 |
< 6 · 10-9 hPa |
重量 |
85(分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg |
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