磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M

Turbopumps HiPace 300-800M，ATH 500 M

HiPace300 M
HiPace700 M
HiPace800 M
ATH 500 M

产品描述

上海伯东德国普发 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M: 抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵. HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承. 动平衡装置会进行自动校准, Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移. 低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比.

产品优点
技术参数

磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M 产品优点：

1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装
2.集成控制器
3.清洁无油
4.高气体流量
5.低震动及低磁场干扰
6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿
7.转速范围大

磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M 技术参数：

分子泵型号	分子泵连接尺寸 DN		抽速 l/s			压缩比	最高启动压强hPa	极限压力	全转速气体流量hPa l/s	启动时间	重量
分子泵型号	进气口	排气口	氮气 N₂	氦气He	氢气 H₂	氮气 N₂	氮气N₂	hPa	氮气N₂	min	kg
HiPace 300 M	100	16	255	215	170	> 1X10¹¹	20	< 1X10^–7	28	2	13.1 – 17.2
ATH 500 M ATH 500 MT	160	25	550	390	190	> 2X10⁷	2.6	< 1X10^–8	67	2	17 – 18
HiPace 700 M	160	25	685	600	480	> 1X10¹	8	< 1X10^–7	13	4	15.7 – 20.8
HiPace 800 M	200	25	790	625	500	> 1X10¹	8	< 1X10^–7	13	4	17.1 – 21.5

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M

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