美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布.

KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”

放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

伯东KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数：

Model	eHL 200-3	eHL 200-5
Height (nominal)	2.9” (7.4cm)	2.9” (7.4cm)
Width (nominal)	3.3” (8.4cm)	3.3” (8.4cm)
Length (nominal)	Determined by number of modules & application	Determined by number of modules & application
Cathode/Neutralizer	Yes	Yes
Anode module	Yes	Yes
Filamentless	Yes	Yes
Orientation	Vertical / Horizontal	Vertical / Horizontal
Process gases	Inert, reactive, & organic	Inert, reactive, & organic
Power controller	eH Plasma Power Pack	eH Plasma Power Pack

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