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Thermonics 超低温冷水机
产品描述
上海伯东美国 inTEST 旗下 Thermonics® 超低温冷水机, 可以匹配各种热交换液体媒介, 提供低温极限 -80°C, -60°C, -40°C 共计 18种标准机型, 低温冷水机单级压缩机, 级联冷却, 冷凝器水冷或风冷; 可编程的触摸屏, 支持远程通讯. 低温冷水机方便移动操作, 满足高容量的制冷需求, 适用于汽车, 能源, 工业化学, 半导体等行业.
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Thermonics 超低温冷水机 产品优势：
Thermonics 超低温冷水机产品优势:
Thermonics 超低温冷水机: 精密温度控制, 适用于半导体前端和后端的应用, 例如半导体刻蚀设备降温
. 最高冷却功率 15 kW
. 温度范围: -80 至 200 °C
. 适合各种热交换流体
. 风冷和水冷模式
. 导热流体压力和流量控制
. ISO 9001 和 ITAR 认证
. 可编程的触摸屏
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Thermonics 超低温冷水机 技术参数：
Thermonics 超低温冷水机技术参数:
Thermonics 超低温冷水机, 风冷型
|
型号
|
温度范围
°C
|
精度
°C
|
冷却能力 kW @ 20°C 供水
|
泵抽速
l/min
|
|
25
|
0
|
-20
|
-40
|
-45
|
-60
|
-70
|
-80
|
|
A-40-1100
|
-40 至 +50
|
±0.5
|
6.6
|
6.6
|
4.0
|
1.1
|
0.5
|
-
|
-
|
-
|
15
|
|
A-40-1900
|
-40 至 +50
|
±0.5
|
9.5
|
9.5
|
5.4
|
1.9
|
0.7
|
-
|
-
|
-
|
23
|
|
A-40-2700
|
-40 至 +50
|
±0.5
|
14.5
|
14.5
|
9.6
|
2.7
|
1.2
|
-
|
-
|
-
|
38
|
|
A-60-2700
|
-60 至 +50
|
±0.5
|
3.9
|
3.9
|
3.6
|
3.1
|
3.0
|
2.7
|
-
|
-
|
11
|
|
A-60-3000
|
-60 至 +50
|
±0.5
|
4.6
|
4.6
|
3.7
|
3.5
|
3.4
|
3.0
|
-
|
-
|
23
|
|
A-60-4600
|
-60 至 +50
|
±0.5
|
6.7
|
6.7
|
6.1
|
5.3
|
5.1
|
4.6
|
-
|
-
|
30
|
|
A-80-500
|
-80 至 +50
|
±0.5
|
2.3
|
2.3
|
2.2
|
2.1
|
2.0
|
1.8
|
1.5
|
0.5
|
11
|
|
A-80-1700
|
-80 至 +50
|
±0.5
|
3.4
|
3.5
|
3.1
|
2.8
|
2.7
|
2.3
|
2.1
|
1.7
|
23
|
|
A-80-2400
|
-80 至 +50
|
±0.5
|
5.0
|
5.1
|
4.5
|
3.9
|
3.8
|
3.3
|
3.1
|
2.4
|
30
|
Thermonics 超低温冷水机, 水冷型
|
型号
|
温度范围
°C
|
精度
°C
|
冷却能力 kW @ 20°C 供水
|
泵抽速
l/min
|
|
25
|
0
|
-20
|
-40
|
-45
|
-60
|
-70
|
-80
|
|
W-40-1100
|
-40 至 +50
|
±0.5
|
8.0
|
8.0
|
4.6
|
1.1
|
0.6
|
-
|
-
|
-
|
15
|
|
W-40-2000
|
-40 至 +50
|
±0.5
|
10.0
|
10.0
|
6.0
|
2.0
|
1.0
|
-
|
-
|
-
|
23
|
|
W-40-3100
|
-40 至 +50
|
±0.5
|
15.5
|
15.5
|
10.0
|
3.1
|
1.4
|
-
|
-
|
-
|
38
|
|
W-60-2800
|
-60 至 +50
|
±0.5
|
4.0
|
4.0
|
3.7
|
3.2
|
3.1
|
2.8
|
-
|
-
|
11
|
|
W-60-3100
|
-60 至 +50
|
±0.5
|
4.7
|
4.7
|
4.3
|
3.7
|
3.6
|
3.1
|
1.1
|
-
|
23
|
|
W-60-4700
|
-60 至 +50
|
±0.5
|
6.8
|
6.8
|
6.2
|
5.4
|
5.2
|
4.7
|
4.0
|
-
|
30
|
|
W-80-600
|
-80 至 +50
|
±0.5
|
2.5
|
2.5
|
2.3
|
2.1
|
2.0
|
1.8
|
1.6
|
0.6
|
11
|
|
W-80-1800
|
-80 至 +50
|
±0.5
|
3.5
|
3.5
|
3.2
|
2.9
|
2.8
|
2.4
|
2.2
|
1.8
|
23
|
|
W-80-2500
|
-80 至 +50
|
±0.5
|
5.1
|
5.1
|
4.5
|
4.0
|
3.9
|
3.4
|
3.2
|
2.5
|
30
|
* 所有水冷和风冷型号液体压力是 50 PSIG 或更少
* -40 和-60°C 的低温性能使用 Syltherm XLT 热传导液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 热传导液
* 如果需要使用其他类型热传导液或流速, 请联络上海伯东
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Thermonics 超低温冷水机 应用领域：
Thermonics 超低温冷水机典型应用
1. 半导体行业: 在离子注入机中冷却硅片夹
2. 燃料电池能源: 低温冷却进入储罐的废气, 从废气中冷凝和分离二氧化碳
3. 科研领域: 在一个压力容器中, 加热和冷却铜块
Thermonics® 制冷机主要应用于能源, 化学工艺, 工业和半导体制造, 例如如下:
|
制冷机类型
|
冷却方式
|
Max.Capacity
|
温度范围
|
导热介质
|
应用市场
|
|
传导液制冷
双极
|
水冷
|
5kW @ -20°C
|
-40 至 25°C
|
Syltherm XLT
|
化学
|
|
传导液制冷
单极
|
水冷
|
2.5kW @ -60°C
|
-60 至 25°C
|
Syltherm XLT
|
化学
|
|
传导液制冷
单极
|
风冷
|
270W @ -50°C
|
-50 至 120°C
|
HFE-7500
|
半导体
|
|
传导液制冷
双极
|
风冷
|
300W @ -80°C
|
-80 至 200°C
|
Syltherm XLT
|
国防
|
|
传导液制冷
双极
|
风冷
|
3KW @ -60°C
|
-60 至 20°C
|
KRYO 60
|
能源
|
|
气体制冷
自然复叠
|
风冷
|
-100 °C @ 8 scfm
|
-100 °C至空气
|
清洁,干燥空气
|
工业
|
|
传导液制冷
双极
|
水冷
|
2.2KW @ 20°C
|
-50 至 40 °C
|
HFE-7500
|
半导体
|
|
传导液制冷
单极
|
水冷
|
12KW @ 15°C
|
-15 至 20 °C
|
PGW (25%)
|
半导体
|
|
气体制冷
自然复叠
|
风冷
|
-90°C @ 18scfm
|
-90 至 225 °C
|
清洁,干燥空气
|
汽车
|
|
传导液制冷
单极
|
风冷
|
1.5 KW @ -30 °C
|
-40 至 50 °C
|
Syltherm XLT
|
工业
|
|
传导液制冷
双极
|
水冷
|
3.3KW @ -50°C
|
-50 至 20 °C
|
Syltherm HF
|
汽车
|
Thermonics 超低温冷水机在半导体行业中的应用
前端 Front End
离子注入 Ion Implant
蚀刻设备 Etch: 降温晶圆,
沉积设备 Deposition
后端 Back End
各种测试处理 Final Test Handlers:
举例: Thermonics 冷水机将制冷液体泵入测试设备进行半导体器件的冷态测试, Thermonics 冷水机可与各类半导体测试设备联用.
