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SHINKO SEIKI 神港 水環真空泵
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IWATA 涡旋干泵 (无油真空泵) DVSL 系列
IWATA 涡旋干泵 (无油真空泵) ISP 系列
Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机
Polycold MaxCool 2500 L 水汽深冷泵 / 冷冻机
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Polycold 水汽深冷泵/冷冻机
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Products
Pfeiffer Vacuum Pumps
Leak Detector
KRI Ion source
Ion Beam Etching
HVA Vacuum Valve
Chip packaging box
体积小, 重量轻, 能耗低
芯片包装, 二维材料转移
高密度离子束, 工艺时间更长
业界公认最小漏率5E-13 Pa m3/s
均匀性 : ±5% , 硅片刻蚀率 : 20 nm/min
清洁和高密封性
温度范围 -80至+ 225°C, 快速变温
1 ms/amu 响应时间, 检测限低 < 100 ppb
ALD, CVD, 蚀刻, ALE 气体侦测分析
带有多样化的接口 -Profibus,DeviceNet 或者 E74。
占地面积小, 任意位置安装.
抽速最高可达 2050 l/s 高性能涡轮分子泵
抽速可达 1250 l/s 的高性能涡轮分子泵
抽速 260 l/s,对氮气压缩比 >e+13
强大的抽空能力, 极短的测试时间
快速检漏测试, 污染情况下易于恢复
占用空间小,前级泵清洁无油,极轻的重量(21kg)和全球通用电压使它成为理想的检漏工具。
适合严苛工业环境, 使用寿命更长
离子能量范围 100 至 1200ev
离子束流: >600 mA; 离子动能: 100-1200 V
离子电流可以超过 800 mA
目前市场上最高效, 提供最高离子束流
宽波束, 高放电电流
离子束流: >250 mA; 离子动能: 100-1200 V
最大限度减少粒子的生成
保护裸模在内的易碎设备
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