涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300

Turbopumps HiPace® 1200-2300

涡轮分子泵HiPace 1200
涡轮分子泵HiPace 1500
涡轮分子泵HiPace 1800
涡轮分子泵HiPace 2300

产品描述

上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 1200-2300, 抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, HiPace 1200 - 2300系列涡轮分子泵可以倒置安装. 对小分子量气体(H₂, He)和大分子量气体(Ar, CF₄)都有很高的抽速.

产品优势
技术参数
尺寸及抽速
应用领域

涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300 产品优势：

1.抽速从 1200-2300 l/s 的全系列产品
2.安装角度可选 0°-90° 和 90°-180°
3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5.电压范围 90 - 265 V
6.获得 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV认证
7.防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
8.适用于各种严苛工艺如刻蚀, 溅镀, 分子泵耐粉尘
9.集成分子泵控制器 TC 1200, 可直接连接一般电源

订货号：

Flange	ISO-K	ISO-F	CF-F	ISO-K	ISO-F	CF-F
Orientation of the HV flange	up (0° – 90°)			upside down (90° – 180°)
Pump type	HiPace® 1200, DN 200, TC 1200
Standard version	PMP03910	PMP03911	PMP03912	PMP03913	PMP03914	PMP03915
Corrosive gas version	PMP03916	PMP03917	PMP04190	PMP03918	PMP03919	PMP04191
Pump type	HiPace® 1500, DN 250, TC 1200
Standard version	PMP04060	PMP04061	PMP04062	PMP04063	PMP04064	PMP04065
Corrosive gas version	PMP04066	PMP04067	PMP04192	PMP04068	PMP04069	PMP04193
Pump type	HiPace® 1800, DN 200, TC 1200
Standard version	PMP04070	PMP04071	–	PMP04073	PMP04074	–
Corrosive gas version	PMP04076	PMP04077	–	PMP04078	PMP04079	–
Pump type	HiPace® 2300, DN 250, TC 1200
Standard version	PMP03920	PMP03921	PMP03922	PMP03923	PMP03924	PMP03925
Corrosive gas version	PMP03926	PMP03927	PMP04194	PMP03928	PMP03929	PMP04195

涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300 技术参数：

分子泵型号	分子泵连接尺寸 DN		抽速 l/s			压缩比	最高启动压强hPa	极限压力	全转速气体流量hPa l/s	启动时间	重量
分子泵型号	进气口	排气口	氮气N₂	氦气He	氢气 H₂	氮气N₂	氮气N₂	hPa	氮气N₂	min	kg
HiPace® 1200	200	40	1,250	1,300	1,100	> 1X10⁸	2	< 1X10^–7	20	2.5	27 – 40
HiPace® 1500	250	40	1,400	1,350	1,150	> 1X10⁸	2	< 1X10^–7	20	2.5	29 – 41
HiPace® 1800	200	40	1,450	1,650	1,700	> 1X10⁸	1.8	< 1X10^–7	20	4	33 – 34
HiPace® 2300	250	40	1,900	2,000	1,850	> 1X10⁸	1.8	< 1X10^–7	20	4	34 – 47

C = 抗腐蚀性气体
T = 温控管理

涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300 尺寸及抽速：

分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-K

分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-F

分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 CF-F

分子泵 HiPace™ 1200, pumping speed

分子泵 HiPace™ 1500, DN 250 ISO-K

分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 ISO-F

分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 CF-F

分子泵 HiPace™ 1500, pumping speed

分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-K

分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-F

分子泵 HiPace™ 1800, pumping speed

分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-K

分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-F

分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 CF-F

分子泵 HiPace™ 2300, pumping speed
涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300 应用领域：

1. 分析仪器

2. 半导体

3. 镀膜

4. 工业

5. 研发

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