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Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro
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Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro
产品描述
上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 最低可检测分压 3 X10-15 hPa.
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Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 产品优势：
1.模块化设计保证最佳兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
2.分析仪器和电子单元可灵活互换
3.双灯丝延长工作时间
4.最低可检测分压 3 X10-15 hPa
5.可直接连接真空计, 方便测量压力
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Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数：
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型号
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QMG 250 F1
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QMG 250 F2
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QMG 250 F3
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QMG 250 M1
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QMG 250 M2
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QMG 250 M3
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检测器
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法拉第 Faraday (F)
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电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
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质量数 amu
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1–100
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1–200
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1–300
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1–100
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1–200
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1–300
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四极杆直径／长度
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6 /125 mm
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最小检测极限 F hPa *1,2
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4X10-13
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5X10-13
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7X10-13
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最小检测极限 M hPa *1,2
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3X10-15
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4X10-15
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5X10-15
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对Ar的灵敏度 F A/hPa*3
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5X10-4
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4X10-4
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3X10-4
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5X10-4
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4X10-4
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3X10-4
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最大工作压力 F hPa
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5X10-4
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最大工作压力 M hPa
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5X10-5
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5X10-5
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5X10-5
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对临近质量数的影响*1
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< 10 ppm
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< 20 ppm
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< 50 ppm
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< 10 ppm
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< 20 ppm
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< 50 ppm
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操作温度 分析
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200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
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操作温度 电子
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5 – 50 °C
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烘烤温度 分析
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300 °C
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连接法兰
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DN 40 CF-F
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保压时间
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1 ms – 16 s/amu
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重量
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2.5 kg
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3.2 kg
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* 1 开放式离子源,
* 2 停留时间 4秒
* 3 与C-SEM相比, 具有较高的灵敏度
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Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 通讯接口：
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口：
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 可扩展的通讯接口：
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