ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪

ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪 | ULVAC

ADEPT-1010

产品描述

上海伯东代理爱发科 ULVAC ADEPT-1010™ 型四级杆动态SIMS采用独特的二次离子提取系统，该系统能够提高二次离子传输性能。高的离子传输性能提高了深度分析的检测限，使得ADEPT能够出色完成对离子注入结构的深度和剂量检测任务。这些离子注入过程中的关键参数测试的重复性精度可以控制在几个百分点，符合半导体行业的需求。ADEPT-1010 的超高真空检测环境有助于对低浓度大气污染物进行深度剖析，同时保持了出色的深度分辨率和低溅射率。这种检测能力对于高速半导体器件的检测信息完整性而言至关重要。应用SIMetric软件，实现高效快速测试的同时ADEPT-1010能够自动分析分析多个样品，实现无人值守。

产品优势
技术参数
平面图

ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪 | ULVAC 产品优势：

1.高灵敏度二次离子检测光学系统

2.悬浮电位离子枪适于浅注入层分析

3.对大气污染物组分具有低检出限

4.绝缘体深度分析

5.高精度自动样品台

ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪 | ULVAC 技术参数：

项目类别	参数名称	具体要求
物理规格	净重	1,350 kg
	装运重量	约 2,400 kg
	实验室入口宽度	>110 cm
	实验室入口高度	>200 cm
电力要求	电压/电流	200–230 V AC，50/60 Hz，50A（单相）
	接地线	需配备
气体供应	干氮气	最大压力 27 kPa
	压缩空气	0.55–0.70 MPa
	氧气瓶	1,400 PSIG（研究级，纯度99.999%）
环境条件	静态磁场	<1 G
	交变磁场	<3 mG
	温度	20°C ± 3°C
	湿度	<50%
散热要求	工作状态散热	3,300 W
	烘烤状态散热	5,800 W

ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪 | ULVAC 平面图：

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