HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列

HVA 21700 Series

产品描述

HVA 三位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀、 CVD、真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业。HVA 三位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时,提供异常压力控制功能,该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡。HVA 三位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式:一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启,另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置。

上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。

  • 产品优点
  • 技术参数
  • 构成部件
  • 应用领域
  • HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 产品优点:

    1. 机械预设、遥控过渡阀位

    2. 三个位置都有指示器

    3. 标准或者定制法兰

    4. 至少一百万使用周期

    5. 任意位置安装

  • HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 技术参数:

    阀门材质:

    阀门主体

    304不锈钢

    焊接波纹管轴封

    AM-350

    驱动轴和驱动销

    硬质不绣钢

    阀门密封方式:

    高真空

    氟橡胶

    漏率

    <2×10-9 mbar l/s

    差压关闭

    1 bar

    真空:

    压力范围

    高真空1x10-9 mbar

    漏率

    < 2x10-9  mbar l/S

    差压关闭

    1 bar (任意位置)

    开启前最大压力

    ≤ 30 mbar

    烘烤温度(不含电磁阀):

    阀门主体

    150 °c

    驱动方式

    气动 60 °c

    使用寿命:100,000启闭次数

    公称通径:DN100-320 mm

  • HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 构成部件:

    订货号

    HVA 三位真空闸阀 21700 系列订货号及2D,3D展示图

    DN

    Model

    KF/ISO-F

    ISO-K

    CF-F*

    mm

    inch

    Number

    3 (Bolted)

    6 (Clamped)

    0 or 4 (Conflat)

    100

    4.00

    21712-040_R

    2D

    3D

    2D

    3D

    2D

    3D

    160

    6.00

    21712-060_R

    2D

    3D

    2D

    3D

    2D

    3D

    200

    8.00

    21712-080_R

    2D

    3D

    2D

    3D

    2D

    3D

    250

    10.00

    21712-100_R

    2D

    3D

    -

    2D

    3D

    320

    12.00

    21712-120_R

    2D

    3D

    -

    2D

    3D

     

    构成部件

    HVA 三位真空闸阀 21700 系列部件图:
     

    HVA 21700

    HVA 21700

  • HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 应用领域:

    HVA 三位真空闸阀21700 系列三位真空闸阀广泛应用于:

    低温泵、涡轮分子泵、离子泵及其他对清洁度要求高、低除气的高真空行业。

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