残余气体分析仪 HiCube Neo RGA | 普发 pfeiffer

HiCube Neo RGA

HiCube Neo RGA 残余气体分析
残余气体分析仪

产品描述

上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的完美搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.

HiCube Neo RGA 残余气体分析系统设计紧凑、便于携带，集成 DigiLine 全量程变送器实时监测总压并保护灯丝。系统提供丰富的配件选项，包括不同质量范围、腔体加热模块、运输箱等，支持灵活的现场部署与移动分析。

产品优势
技术参数
应用领域
配件与选件

残余气体分析仪 HiCube Neo RGA | 普发 pfeiffer 产品优势：

1. 结构紧凑：集成涡轮分子真空泵与质谱仪，体积小、重量轻，便于移动与安装。

2. 安全可靠：内置 DigiLine 全量程变送器，实时监测压力并保护灯丝，延长使用寿命。

3. 灵活性强：支持多种质量范围、检测器配置及加热选件，适应不同应用需求。

4. 便携高效：配备运输箱与移动推车，适用于现场快速部署与应急检测。

Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 技术规格

涡轮分子泵组	HiCube™ Eco
功耗	170W
电压（范围）	110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮气抽速	67 l/s
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度	1 m³/h
极限真空	<1X10^-7 hPa
真空计	PKR 361
测量范围	1X10^-9 至 1X10³ hPa
阀门	EVN 116
气体流量	可调整, 自 5X10^-6 至 3X10³ hPa l/s
进气口	DN 16 ISO-KF

PrismaPro	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1	QMG 250 M2	QMG 250 M3
检测器	法拉第 Faraday (F)			电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu	1–100	1–200	1–300	1–100	1–200	1–300
四极杆直径／长度	6 /125 mm
最小检测极限 F hPa *^1,2	4X10^-13	5X10^-13	7X10^-13	-	-	-
最小检测极限 M hPa *^1,2	-	-	-	3X10^-15	4X10^-15	5X10^-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*³	5X10^-4	4X10^-4	3X10^-4	5X10^-4	4X10^-4	3X10^-4
最大工作压力 F hPa	5X10^-4
最大工作压力 M hPa	-	-	-	5X10^-5	5X10^-5	5X10^-5
对临近质量数的影响^*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm
操作温度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度电子	5 – 50 °C
烘烤温度分析	300 °C
连接法兰	DN 40 CF-F
保压时间	1 ms – 16 s/amu
峰比值可重复性	± 0.5 %
接口	以太网
电源电压	100–240 V AC，50/60 Hz
HiCube™ RGA重量	25.5 - 26.2 kg

若您需要进一步的了解详细信息或讨论，请参考以下联络方式：

上海伯东: 罗小姐台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322 F: +886-3-567-0049
M: 152-0195-1076 ( 微信同号 ) M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw

残余气体分析仪 HiCube Neo RGA | 普发 pfeiffer 技术参数：

参数	HiCube Neo RGA (QMG 250 F1)	HiCube Neo RGA (QMG 250 F2)	HiCube Neo RGA (QMG 250 F3)
质量范围	1-100 u	1-200 u	1-300 u
检测极限（法拉第）	4×10⁻¹⁹ hPa (mbar)	5×10⁻¹⁹ hPa (mbar)	7×10⁻¹⁹ hPa (mbar)
氩气灵敏度（法拉第）	5×10⁻⁴ A/hPa (mbar)	4×10⁻⁴ A/hPa (mbar)	3×10⁻⁴ A/hPa (mbar)
最大工作压力（法拉第）	5×10⁻⁴ hPa (mbar)	5×10⁻⁴ hPa (mbar)	5×10⁻⁴ hPa (mbar)
杆系统	直径6 mm，长度125 mm	直径6 mm，长度125 mm	直径6 mm，长度125 mm
分析仪操作温度	200℃	200℃	200℃
电子元件操作温度	5-50℃	5-50℃	5-50℃
烘烤温度（移除电子元件后）	300℃	300℃	300℃
尺寸（L×W×H）	446×583×434 mm	446×583×434 mm	446×583×434 mm
连接法兰	DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F*	DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F*	DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F*
检测器	法拉第	法拉第	法拉第
对相邻质量的影响	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm
10%峰高分辨率	0.5-2.5 u	0.5-2.5 u	0.5-2.5 u
停留时间	1 ms - 16 s/u	1 ms - 16 s/u	1 ms - 16 s/u
重量（约）	22-27 kg**	22-27 kg**	22-27 kg**
电源电压	100-240 VAC（50/60 Hz）	100-240 VAC（50/60 Hz）	100-240 VAC（50/60 Hz）
接口	以太网	以太网	以太网
峰比重现性	±0.5%	±0.5%	±0.5%
功耗	无加热时最大240 W，有加热时最大400 W

*取决于进气阀类型
**取决于选配项目

注: QMG 250 M 系列（带C-SEM检测器）参数类似，最大工作压力可达 5×10⁻³ hPa（C-SEM模式），分析仪操作温度在使用SEM时最高150℃。

残余气体分析仪 HiCube Neo RGA | 普发 pfeiffer 应用领域：

1. 电池行业：泄漏检测与EoL测试（主控）

2. 化学工业：泄漏检测

3. 制药与生物技术：实验室真空监控、泄漏检测

4. 研发领域：高能物理、超高真空研究、泄漏检测、实验室真空分析

5. 技术气体：液化过程、真空隔热、气体运输、装瓶过程监控
残余气体分析仪 HiCube Neo RGA | 普发 pfeiffer 配件与选件：

1. 备用电子器件、离子源、灯丝、分析仪、真空泵或泵维修套件

2. 备用进气阀、多种质量范围、不同灯丝材料

3. 各种前级泵、真空计、腔体加热模块

4. 配备 Pfeiffer MassSpec 软件的计算机、截止阀

5. 校准气体选配、运输箱、移动推车

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