Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus | 普发 pfeiffer

Mass spectrometer PrismaPlus

Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus
Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus

产品描述

上海伯东代理德国 Pfeiffer 残余气体质谱仪 QMG系列, 模块化设计, 质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu. 内置四极分析仪、四极电子装置、电源件和Quadera 软件. 残余气体质谱 QMG系列离子源配备两组灯丝, 适用于多种测量用途, 使用寿命长.

产品优势
技术参数
尺寸及抽速
应用领域

Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus | 普发 pfeiffer 产品优势：

1. 模组化设计提供了产品最好的适应性

2. 结构紧凑, 性能出众

PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪. 该四极质谱仪积累了丰富的应用经验, 高灵敏度, 高稳定性和智慧化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点. 在适用中客户将感受到它坚固, 紧凑的设计和简单的系统集成, 并从中受益.

3. 多种介面, 系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定, 解析度高

PrismaPlusTM 四极质谱仪可以在三个不同的质量数范围（1-100, 1-200, 1-300 amu）内, 下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果. 在真空系统中, 配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪, 即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来. 除显示可选择的分压外, 直接增加一个压力量规, PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用.

6. 分析器以及电子的可替换性

7. 双灯丝设计保证最大的可靠性
8. 最低的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®软体, 操作直观

Quadera 软体不仅操作简单, 它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台. 结合多种可供选择的介面介面, 例如乙太网, 数位式和类比式输入输出, 可以方便地集成到各种系统中去. 轻点滑鼠就可以启动预设的功能.

10.应用范围广

通过可选择质量数范围, 检测器、离子源和介面介面等, 该四极质谱仪可以应用于多个领域, 例如：工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等. PrismaPlusTM 四极质谱仪是从品质保证, 残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的最佳方案.

Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus | 普发 pfeiffer 技术参数：

型号	QMG 220 F1	QMG 220 F2	QMG 220 F3		QMG 220 M1			QMG 220 M2		QMG 220 M3
检测器	法拉第 Faraday (F)				电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu	1–100	1–200	1–300		1–100			1–200		1–300
四极杆直径／长度	6/100 mm
最小检测极限 F mbar	1X10^-12	2X10^-12	4X10^-12		5X10^-12			1X10^-11		2X10^-11
最小检测极限 M mbar	-	-	-		1X10^-14			< 2X10^-14		< 4X10^-14
对Ar的灵敏度 F A/mbar	1X10^-3	6X10^-4	3X10^-4		5X10^-4			3X10^-4		1.5X10-4
对Ar的灵敏度 M A/mbar	-	-	-		200			200		100
最大工作压力 F	1X10-4 mbar
最大工作压力 M mbar	-	-	-		1X10-5			1X10^-5		1X10^-5
对临近质量数的影响	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm		< 10 ppm			< 20 ppm		< 50 ppm
操作温度 F	150 °C
烘烤温度 F	200 °C / 300 °C
连接法兰	DN 40 CF-F
重量	2.4 kg	2.4 kg		2.4 kg		3.8 kg	3.8 kg		3.8 kg

Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus | 普发 pfeiffer 尺寸及抽速：
Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus | 普发 pfeiffer 应用领域：

1. 冶金

2. 真空炉

3. 加速器

4. 溅射工艺分析

5. 半导体生产

6. 玻璃镀膜

7. 研发

8. 真空工艺

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