干式真空泵 A3H 系列

产品描述

上海伯东德国 Pfeiffer Adixen干式真空泵 A3H 系列适合半导体应用

  • 技术参数
  • 尺寸及抽速
  • 产品应用
  • 干式真空泵 A3H 系列 技术参数:

  • 干式真空泵 A3H 系列 尺寸及抽速:

  • 干式真空泵 A3H 系列 产品应用:

    阿尔卡特ADIXEN A3H系列干式泵的应用:
    ·半导体应用,例如:
    -PECVD
    -ALD
    -MOCVD
    -SACVD
    -LPCVD

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