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Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机
产品描述
上海伯东代理 Polycold® MaxCool 2000 冷冻机是一种闭环低温制冷系统, 可提供高达 2,000 瓦的冷却功率. 通过将水蒸气冻结在低温盘管或 V 形挡板等冷盘上来快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽. MaxCool 2000 冷冻机还适用于将物体冷却至低温, 例如半导体晶圆加工中使用的静电吸盘.使用 MaxCool 冷冻机可以显著减少抽气时间并提高产品产量.
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Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机 产品优势：
1. 真空抽气时间缩短 75%
2. 高效的抽水汽效率: 10,000 至 164,000 l/s
3. 产品产量提高 20% 到 100%
4. 在工艺过程中降低水蒸汽的分压力, 从而获得更高质量, 更好的附着力, 和多重沉积膜特性
5. 相对于液氮制冷 LN2, Polycold 冷冻机选用无毒, 环保型冷媒, 可循环使用
6. 通过电源管理最大限度地降低成本
7. 适用于各种工艺的高容量冷却和加热
8. 低温冷凝真空系统中的水蒸气, 抽速可达 164,000 l/s，真空度可达 3 x 10-9 torr（4 x 10-9 mbar）
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Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机 技术参数：
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标准性能
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最大负载: Watts
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2000
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抽水汽效率(理论值)：l/s
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163,900
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启动压力：atm
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1
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除霜时间：分钟
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4
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低温盘管, 连接管路
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盘管表面面积：m2
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1.1
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单管路：
盘管直径：mm
盘管长度：m
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16
21.9
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双管路：
盘管直径：mm
盘管长度：m
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12
14.6
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标准外部连接管长度：m
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2.4
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配套设施
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冷却水流量：rate l/min.
13 C˚
18 C˚
24 C˚
29 C˚
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6.8
9.1
13.6
27.6
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功率 kW
待机模式
制冷模式, 低负载
制冷模式, 最大负载
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5.5
6.2
8.8
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占地空间(最小)：m3
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25
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工作噪音(最大)：db
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72
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Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机 抽水汽效率：
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Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机 产品应用：
上海伯东 Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法. 与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用, 大大降低了企业成本. Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业.
