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射频离子源 RFICP380
产品描述
上海伯东美国 KRi 大口径射频离子源 RFICP 380, 3层栅极设计, 栅极口径 38cm, 提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 最大离子束流 > 1000mA, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用.
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美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 产品特性：
美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 特性:
1. 大面积射频离子源
2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求
3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求
4. 离子束流: >1500 mA
5. 离子动能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自动控制器, 一键自动匹配
8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW
9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装
10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用
11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
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美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 技术参数：
伯东 KRI 射频离子源 RFICP 380 技术参数：
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射频离子源型号
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RFICP 380
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Discharge 阳极
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射频 RFICP
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离子束流
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>1500 mA
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离子动能
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100-1200 V
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栅极直径
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30 cm Φ
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离子束
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聚焦, 平行, 散射
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流量
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15-50 sccm
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通气
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Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
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典型压力
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< 0.5m Torr
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长度
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39 cm
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直径
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59 cm
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中和器
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LFN 2000
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美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 组成构件：
1. 底座风冷风扇
2. Grid ((柵級)) 模組
3. RF Coil (射频铜管)
4. 石英杯
5. LFN 2000 (灯丝) 中和器
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美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 应用案例：
1. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 应用于离子刻蚀 IBE
2. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 325 辅助 LED-DBR 镀膜
3. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)
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