双级旋片真空泵 Pascal C2 系列

双级旋片真空泵 Pascal C2 强腐蚀系列, 特殊工艺研发设计, 特别适用于半导体行业PFPE.

紧凑设计易集成在系统中, 双级旋片真空泵可调进气口和排气口端口, 适合水平或垂直方向安装, 特别适合OEM. 双级旋片真空泵可选单相/三相马达,抽速范围: 5-63 m3/h. 伯东公司根据客户实际需要选型并提供完善的售后维修服务.真空泵油: PFPE

双级旋片真空泵 Adixen Pascal C2 系列技术参数:

型号	进气法兰	排气法兰	抽速	旋片真空泵极限真空度	气镇阀极限真空度	重量 kg
2010 C2	DN 25 ISO-KF	DN 25 ISO-KF	50 HZ 9 m3h 60 HZ 10.5 m3h	5x10-4 hPa 3.75x10-4 Torr 5x10-4 mbar	10 hPa 7.5 Torr 10 mbar	26
2015 C2	DN 25 ISO-KF	DN 25 ISO-KF	50 HZ 14 m3h 60 HZ 16.5 m3h	5x10-4 hPa 3.75x10-4 Torr 5x10-4 mbar	10 hPa 7.5 Torr 10 mbar	27
2021 C2	DN 25 ISO-KF	DN 25 ISO-KF	50 HZ 18 m3h 60 HZ 22 m3h	5x10-4 hPa 3.75x10-4 Torr 5x10-4 mbar	10 hPa 7.5 Torr 10 mbar	28
2033 C2	DN 40 ISO-KF	DN 40 ISO-KF	50 HZ 30 m3h 60 HZ 36 m3h	1x10-3 hPa 7.5x10-4 Torr 1x10-3 mbar	0.02 hPa 0.02 Torr 0.02 mbar	70
2063 C2	DN 40 ISO-KF	DN 40 ISO-KF	50 HZ 56 m3h 60 HZ 66 m3h	1x10-3 hPa 7.5x10-4 Torr 1x10-3 mbar	0.02 hPa 0.02 Torr 0.02 mbar	104

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